工程郵袋
第 6 集：30 秒內繪製晶圓圖
長話短說
我將向您介紹如何在 30 秒內完成此操作*！ 如果您想了解詳細信息，請繼續閱讀！
*整個過程大約需要 3 分 40 秒，但點擊滑鼠大約需要 30 秒，最多。
介紹
如何在 JMP 中製作晶圓圖？
我常被問到這個問題。 因此，這裡有來自工程郵袋（也許是一張工程明信片？）的簡短說明，介紹如何在圖形生成器中創建快速且髒的圖案化晶圓圖。
基本地圖
對於本次討論，我將重點放在圖案晶圓圖。 這些在緊要關頭創建起來非常簡單，至少需要三個資訊：X Die ID、Y Die ID 以及用於為貼圖著色的內容（排序倉、Vt、薄膜厚度、粒子計數、你明白了）。 我們可能會對這個主題感到瘋狂，我將在最後討論其中的一些內容，但對於這次討論，我想重點關註一個超級基本的“只要讓我指向正確的方向”方向”晶圓圖。 而且，為此我們只需要這三個數據。 你有那個數據嗎？
你做！
甜的。 那麼，讓我們這樣做吧。
如果您手邊沒有資料集，可以使用以下範例資料集聯合管理計劃（這也是我將要使用的資料集），您可以使用它來繼續操作，直到您做到為止。 只要去幫助 > 範例資料庫在 JMP 中並選擇晶圓堆疊.jmp 。
圖案化晶圓圖只是熱圖的一種奇特的重組。 事實證明，熱圖只是一個真實的、真的低解析度影像，其中影像中的每個像素代表一個事物（裝置、晶片、標線區域等）。 而且，碰巧的是，在圖形生成器中製作熱圖（以及晶圓圖）非常容易！ 有趣的是，這是如何運作的，嗯？
首先，我們需要確保數據設定正確。 它最適合一張高桌子，每行一骰子。 如果您製作 X Die 和 Y Die 列，製作熱圖也會容易得多序數數據。 當您從工廠資料庫或製造工具將資料拉入 JMP 時，X Die 和 Y Die 列通常是連續的。 通常這對於分析來說並不是什麼大問題，但為了視覺化目的，它們需要序數。 因此，右鍵單擊資料圖示並將它們從藍色三角形（連續）變更為綠色排序直方圖（有序）。
現在是有趣的部分。 開啟圖形產生器（圖形 > 圖形產生器在 JMP 中）。 將 X Die 列拖曳至底部 X 軸放置區。 將 Y Die 列拖曳至左 Y 軸放置區。 將您感興趣的參數拖曳到視窗最右側的顏色放置區。 最後，從介面頂部的清單中選擇熱圖圖形元素。 點選“完成”！ 您現在已經建立了晶圓圖。
這是 Graph Builder 中使用 Wafer Stacked.jmp 資料集（以及一些顏色修改）完成的晶圓圖。
如果您想要分解貼圖（按批次中的晶圓、製程步驟等），只需將您想要貼圖的變數放入「包裹放置區」（「顏色放置區」的左側）即可。 您可以使用頁面放置區（介面右下角）或 X/Y 群組放置區進一步分解它。 全部嘗試一下，看看您喜歡哪一個。 它們都有各自的優點和缺點。 以下是一個範例，其中我使用「包裹放置區」（再次使用一些創意著色）來查看批次缺陷總數：
細化縱橫比
讓我們做一些細化。 我們通常期望晶圓圖是圓形的，但晶片的縱橫比可能會混淆熱圖。 這確實是一種美學考慮，因為即使晶圓看起來有點不穩定，訊息仍然可以有效地傳達。 想想您看過多少張帶有扭曲的晶圓圖螢幕截圖的幻燈片。 他們可能看起來很糟糕，但他們仍然完成工作。
不管怎樣，我們可以用一個技巧來美化地圖。 只需右鍵單擊圖表並選擇圖形 > 大小和比例 > 大小至等軸測。
這通常會透過調整來修正問題，使縱橫比更接近資料集中的內容。 但是，如果您沒有查看完整的晶圓圖，則可能需要使用“框架尺寸”選項（位於選單中“尺寸到等距”上方）手動調整內容。
結論與無恥的插頭
所以，確實如此。 晶圓圖就是這麼簡單。 現在，如果您來這裡想要製作未圖案化的晶圓圖（也稱為裸晶圓圖），那麼創建這些晶圓圖會有點困難，因為資料集稀疏，而且採樣計劃有時會給結果帶來一些偏差。 但是，我確實在 2016 年 JMP Discovery 高峰會上發表了一篇關於如何製作裸晶圓圖的論文。 您可以在這裡找到：所有晶圓圖都是錯誤的：半導體資料視覺化的冒險。 現在，如果您想讓基本熱圖看起來甚至更漂亮，或者想要快速製作裸晶圓圖，或者只是想讓一個插件為您完成繁重的工作，有一個名為半導體工具套件（STK）。 它是作為同一探索峰會演講的一部分推出的。 我現在不打算太深入，而是在 2021 年晚些時候尋找一些有關最新版本 STK 的其他文章。
所以現在，請記住一件事：晶圓圖只是熱圖——看起來像圓圈。
我在這裡描述的晶圓圖非常基本。 像分區地圖這樣的東西最好使用自訂形狀文件，該文件提供有關每個骰子所在區域的視覺提示。 另一個想法是，您可以透過右鍵單擊並在自訂下新增圓圈來註釋晶圓圖上的圓圈。
最好的，
中號
有沒有辦法在晶圓圖上多新增一項功能？就我的“區域”而言，我想知道是否可以在一張晶圓圖上顯示 X、Y、缺陷和區域。
這是因為在底層（當您處理名義值或有序值時），JMP 實際上正在執行值標籤方案。 您可以在軸屬性中看到這一點。
因此，當您透過過濾更改內容時，它將更改基礎值標籤分配（但保持參考線相同）。 這會導致您看到的問題。 熱圖並不是晶圓映射的完美解決方案（這就是為什麼它在文章中又快又髒） - 但它們會在緊要關頭發揮作用。 格式化有點脆弱。
中號
謝謝邁克。 我已將其作為“軸列屬性”完成，但是當我過濾資料時，這些線會四處移動並且不再代表步進器欄位。我正在修改 X 和 Y 座標為名義座標而不是序數座標。 您是否注意到將它們視為名義上的有什麼不同？ 我在過濾之前包含了一個晶圓圖（正確顯示步進器欄位）和一個按裝置類型進行本地過濾的圖表（不再正確顯示步進器欄位）。
@dlifke - 你可以用參考線來做到這一點。 只需右鍵單擊軸並選擇軸屬性即可存取軸屬性對話框。 添加參考線是在該區域的右下角處理的。
最好的，
中號
謝謝邁克！ 期待學習如何添加步進場線，例如 3x5 模具圖案的邊框！
