Der technische Postsack
Folge 6: Waferkarten in weniger als 30 Sekunden
TL;DR
Hier erkläre ich Ihnen, wie Sie das in weniger als 30 Sekunden machen*!! Wenn Sie Details wünschen, lesen Sie weiter!
*Für den Rundgang brauche ich ungefähr 3 Minuten und 40 Sekunden, aber die Mausklicks dauern höchstens 30 Sekunden.
Einführung
Wie erstellt man eine Wafer-Map in JMP?
Ich bekomme diese Frage ... oft. Hier ist also eine kurze Notiz aus dem Engineering Mailbag (vielleicht einer Engineering Postcard?), wie man in Graph Builder schnell und einfach eine gemusterte Waferkarte erstellt.
Die Basiskarte
In dieser Diskussion werde ich mich auf Folgendes konzentrieren gemusterte Waferkarte. Diese sind im Handumdrehen kinderleicht zu erstellen und erfordern lediglich mindestens drei Informationen: die Du hast die Idee). Wir könnten mit diesem Thema verrückt spielen, und ich werde gegen Ende auf einiges davon eingehen, aber für diese Diskussion möchte ich mich auf eine ganz grundlegende Sache konzentrieren: „Macht mich einfach auf den richtigen Weg.“ Richtung“-Waferkarte. Und dafür brauchen wir nur diese drei Daten. Haben Sie diese Daten?
Du tust!
Süß. Dann lasst uns das tun.
Wenn Sie keinen Datensatz zur Hand haben, ist ein Beispieldatensatz im Lieferumfang enthalten JMP (das ist auch der Datensatz, den ich verwenden werde), mit dem Sie bis dahin weitermachen können. Gehen Sie einfach zu Hilfe > Beispieldatenbibliothek in JMP und wählen Sie Wafer Stacked.jmp .
Die gemusterte Waferkarte ist nur eine schicke Umgestaltung einer sogenannten Heatmap. Und es stellt sich heraus, dass eine Heatmap nur eine wirklich, Wirklich Bild mit niedriger Auflösung, bei dem jedes Pixel im Bild eine Sache darstellt (ein Gerät, einen Chip, ein Fadenkreuzfeld usw.). Und tatsächlich sind Heatmaps (und damit Wafer-Maps) in Graph Builder wirklich einfach zu erstellen! Komisch, wie das funktioniert, oder?
Zuerst müssen wir sicherstellen, dass die Daten korrekt eingerichtet sind. Am besten funktioniert es mit einem hohen Tisch mit einem Würfel pro Reihe. Die Erstellung der Heatmap ist auch viel einfacher, wenn Sie Ihre X-Die- und Y-Die-Spalten erstellen Ordinal- Daten. Wenn Sie Daten aus einer Fabrikdatenbank oder einem Fertigungstool in JMP importieren, werden normalerweise die Spalten „X-Matrize“ und „Y-Matrize“ angezeigt kontinuierlich . Normalerweise ist das für die Analyse kein großes Problem, aber für Visualisierungszwecke muss es so sein Ordinal- . Klicken Sie also mit der rechten Maustaste auf das Datensymbol und ändern Sie sie von blauen Dreiecken (kontinuierlich) in grün sortierte Histogramme (Ordnungszahl).
Nun zum spaßigen Teil. Öffnen Sie den Graph Builder ( Diagramm > Diagramm-Generator in JMP). Ziehen Sie Ihre X-Die-Spalte in die Drop-Zone der unteren X-Achse. Ziehen Sie Ihre Y-Die-Spalte in die Drop-Zone der linken Y-Achse. Ziehen Sie den gewünschten Parameter in die Color Drop Zone ganz rechts im Fenster. Wählen Sie zuletzt das Heatmap-Diagrammelement aus der Liste oben auf der Benutzeroberfläche aus. Klicken Sie auf Fertig! Sie haben nun eine Wafer-Map erstellt.
Und hier ist eine fertige Wafer-Karte in Graph Builder, die den Datensatz Wafer Stacked.jmp verwendet (und ein wenig an den Farben herumbastelt).
Wenn Sie die Karte aufteilen möchten (nach Wafern in einer Charge, Prozessschritt usw.), fügen Sie einfach die Variable, nach der Sie die Karte erstellen möchten, in die Wrap Drop Zone (links von der Color Drop Zone) ein. Sie können es mithilfe der Seiten-Drop-Zone (unten rechts auf der Benutzeroberfläche) oder der X/Y-Gruppen-Drop-Zones weiter aufteilen. Probieren Sie sie alle aus und finden Sie heraus, welche Ihnen gefallen. Sie alle haben ihre Vor- und Nachteile. Hier ist ein Beispiel, in dem ich mir die Gesamtzahl der Chargenfehler mithilfe der Wrap Drop Zone ansehe (wiederum mit etwas kreativer Farbgebung):
Verfeinern des Seitenverhältnisses
Lassen Sie uns etwas verfeinern. Im Allgemeinen gehen wir davon aus, dass Waferkarten kreisförmig sind, aber das Seitenverhältnis des Chips kann die Wärmekarte verwirren. Dies ist wirklich eine ästhetische Überlegung, da die Informationen auch dann noch effektiv übermittelt werden, wenn die Waffel etwas wackelig aussieht. Denken Sie darüber nach, wie viele Diadecks Sie mit verzerrten Screenshots von Waferkarten gesehen haben. Sie sehen vielleicht schrecklich aus, aber sie erfüllen trotzdem ihren Zweck.
Wie dem auch sei, es gibt einen Trick, mit dem wir die Karte etwas aufhübschen können. Klicken Sie einfach mit der rechten Maustaste auf das Diagramm und wählen Sie aus Diagramm > Größe und Skalierung > Größe auf isometrisch umstellen .
Dadurch wird das Problem normalerweise durch Anpassungen behoben, sodass das Seitenverhältnis dem, was im Datensatz enthalten ist, besser entspricht. Wenn Sie jedoch keine vollständigen Wafer-Karten betrachten, müssen Sie die Dinge möglicherweise manuell mit der Option „Frame-Größe“ anpassen (die sich im Menü über „Größe zu isometrisch“ befindet).
Schlussfolgerungen und ein schamloser Stecker
Das ist es also wirklich. So einfach sind Waferkarten. Wenn Sie nun hierher gekommen sind, um ungemusterte Wafer-Karten (auch Bare-Wafer-Karten genannt) zu erstellen, sind diese etwas schwieriger zu erstellen, da der Datensatz spärlich ist und der Stichprobenplan manchmal zu einer gewissen Verzerrung der Ergebnisse führt. Aber ich habe auf dem JMP Discovery Summit 2016 einen Artikel darüber geschrieben, wie man Bare-Wafer-Karten erstellt. Das finden Sie hier: Alle Wafer-Maps sind falsch: Ein Abenteuer in der Visualisierung von Halbleiterdaten . Nun, wenn Sie das grundlegende Erscheinungsbild der Heatmap gestalten möchten noch schöner oder schnell Bare-Wafer-Karten erstellen möchten oder einfach ein Add-In die schwere Arbeit für Sie erledigen lassen möchten, gibt es ein Add-In namens „ Halbleiter-Werkzeugsatz (STK). Es wurde im Rahmen derselben Discovery Summit-Präsentation vorgestellt. Ich werde jetzt nicht zu tief darauf eingehen, aber später im Jahr 2021 nach weiteren Artikeln zur neuesten Version des STK suchen.
Denken Sie also vorerst an eines: Wafer-Maps sind nur Heatmaps – die wie Kreise aussehen.
Die Waferkarten, die ich hier beschreibe, sind ziemlich einfach. So etwas wie eine Zonenkarte würde besser mit einer benutzerdefinierten Formdatei funktionieren, die einen visuellen Hinweis darauf gibt, in welcher Zone sich jeder Würfel befindet. Ein anderer Gedanke ist, dass Sie Kreise auf einer Wafer-Karte mit Anmerkungen versehen könnten, indem Sie mit der rechten Maustaste klicken und unter „Anpassen“ einen Kreis hinzufügen.
Am besten,
M
Gibt es eine Möglichkeit, ein weiteres Feature auf die Wafer-Karte zu setzen?In meinem Fall „Zone“ frage ich mich, ob es möglich ist, X, Y, Defekte und Zone auf einer Waferkarte anzuzeigen.
Das liegt daran, dass JMP darunter (wenn Sie mit Nominal- oder Ordinalwerten arbeiten) tatsächlich ein Wertbeschriftungsschema durchführt. Sie können dies in den Achseneigenschaften sehen.
Wenn Sie also Dinge durch Filtern ändern, ändern sich auch die zugrunde liegenden Wertbeschriftungszuweisungen (die Referenzlinien bleiben jedoch gleich). Was das Problem verursacht, das Sie sehen. Heatmaps sind keine perfekte Lösung für Wafer-Mapping (deshalb heißt es in dem Artikel „Quick and Dirty“) – aber im Notfall reichen sie aus. Die Formatierung ist nur etwas spröde.
M
Danke Mike. Ich habe das als Achsenspalteneigenschaften gemacht, aber wenn ich Daten filtere, verschieben sich diese Linien und stellen nicht mehr das Schrittfeld dar.Ich bastele daran, die X- und Y-Koordinaten nominell statt ordinal zu machen. Haben Sie einen Unterschied bei der Behandlung als Nominalwerte bemerkt? Ich habe vor dem Filtern eine Wafer-Karte eingefügt (zeigt Stepper-Felder korrekt an) und eine Karte mit lokaler Filterung nach Gerätetyp (die Stepper-Felder nicht mehr korrekt anzeigt).
@dlifke - Das könnte man mit Referenzlinien machen. Klicken Sie einfach mit der rechten Maustaste auf die Achse und wählen Sie Achseneigenschaften aus, um auf das Dialogfeld „Achseneigenschaften“ zuzugreifen. Das Hinzufügen von Referenzlinien erfolgt unten rechts im Bereich.
Am besten,
M
Danke Mike! Ich freue mich darauf, zu lernen, wie man Stepper-Feldlinien hinzufügt, z. B. Ränder für ein 3x5-Matrizenmuster!
