엔지니어링 메일 백
에피소드 6 : 30 초 이내에 웨이퍼 맵
TL; DR
30 초 안에이 작업을 수행하는 방법을 알려 드리겠습니다 * !! 자세한 내용을 원하시면 계속 읽으십시오!
* 안내는 약 3 분 40 초가 걸리지 만 마우스 클릭은 약 30 초가 걸립니다.
소개
JMP에서 웨이퍼 맵을 어떻게 만드나요?
나는이 질문을 받는다… 그래서 그래프 빌더에서 빠르고 더러운 패턴 웨이퍼 맵을 만드는 방법에 대한 Engineering Mailbag (아마도 Engineering Postcard일까요?)의 간단한 메모가 있습니다.
기본지도
이 토론을 위해 저는 패턴 웨이퍼 맵. 이것들은 아주 간단하게 만들 수 있으며 최소한 X Die ID, Y Die ID 및 맵에 색을 칠할 정보 (정렬 상자, Vt, 필름 두께, 입자 수, 당신은 아이디어를 얻습니다). 우리는이 주제에 미쳐 버릴 수 있고, 그 중 몇 가지를 끝까지 다룰 것입니다.하지만이 토론에서는 매우 기본적인, "그냥 오른쪽에서 지적 해 줘"에 초점을 맞추고 싶습니다. 방향”웨이퍼 맵. 이를 위해서는 세 가지 데이터 만 필요합니다. 그 데이터가 있습니까?
그래!
단. 그럼, 이렇게합시다.
편리한 데이터 세트가없는 경우 샘플 데이터 세트가 포함되어 있습니다. JMP (이것도 제가 사용할 데이터 세트입니다) 할 때까지 따라갈 수 있습니다. 그냥 이동 도움말> 샘플 데이터 라이브러리 JMP에서 웨이퍼 스택 .jmp .
패턴 화 된 웨이퍼 맵은 히트 맵이라고하는 것을 멋지게 개조 한 것입니다. 열지도는 정말 정말 이미지의 각 픽셀이 한 가지 (장치, 다이, 레티클 필드 등)를 나타내는 저해상도 이미지. 그리고 실제로 그래프 빌더에서 히트 맵 (따라서 웨이퍼 맵)을 만들기가 정말 쉽습니다! 그게 어떻게 작동하는지 웃기죠?
먼저 데이터가 올바르게 설정되었는지 확인해야합니다. 한 줄에 주사위가 하나씩있는 높은 테이블에서 가장 잘 작동합니다. X Die 및 Y Die 열을 만들면 히트 맵을 만드는 것도 훨씬 쉽습니다. 서수 데이터. 공장 데이터베이스 또는 제조 도구에서 JMP로 데이터를 가져올 때 X Die 및 Y Die 열은 일반적으로 마디 없는 . 일반적으로 이것은 분석에 큰 문제는 아니지만 시각화를 위해서는 서수 . 따라서 데이터 아이콘을 마우스 오른쪽 버튼으로 클릭하고 파란색 삼각형 (연속)에서 녹색으로 정렬 된 히스토그램 (순서)으로 변경합니다.
이제 재미있는 부분입니다. Open Graph Builder ( 그래프> 그래프 빌더 JMP). X Die 열을 Bottom X Axis Drop Zone으로 드래그합니다. Y Die 열을 왼쪽 Y 축 드롭 영역으로 끕니다. 관심있는 매개 변수를 창의 맨 오른쪽에있는 Color Drop Zone으로 끕니다. 마지막으로 인터페이스 상단에있는 목록에서 히트 맵 그래프 요소를 선택합니다. 완료를 클릭하십시오! 이제 웨이퍼 맵을 만들었습니다.
그리고 여기 Wafer Stacked.jmp 데이터 세트를 사용하는 Graph Builder의 완성 된 웨이퍼 맵이 있습니다 (및 일부 색상 조정).
맵을 분할하려면 (많은 웨이퍼, 프로세스 단계 등) 매핑하려는 변수를 랩 드롭 존 (컬러 드롭 존 왼쪽)에 넣으십시오. 페이지 드롭 존 (인터페이스의 오른쪽 하단) 또는 X / Y 그룹 드롭 존을 사용하여 더 나눌 수 있습니다. 모두 시도해보고 어떤 것을 좋아하는지 확인하십시오. 그들은 모두 장점과 단점이 있습니다. 다음은 Wrap Drop Zone을 사용하여 로트 결함 합계를 확인하는 예입니다 (다시 창의적인 색상 사용).
가로 세로 비율 조정
조금 다듬어 봅시다. 일반적으로 웨이퍼 맵은 원형 일 것으로 예상하지만 다이의 종횡비로 인해 히트 맵이 혼동 될 수 있습니다. 이것은 웨이퍼가 약간 엉망이 되어도 정보가 여전히 효과적으로 전달되기 때문에 미학적 고려 사항입니다. 웨이퍼 맵의 왜곡 된 스크린 샷으로 얼마나 많은 슬라이드 데크를 보았는지 생각해보십시오. 끔찍해 보일지 모르지만 여전히 일을합니다.
어쨌든, 우리가 맵을 약간 예쁘게 만드는 데 사용할 수있는 트릭이 있습니다. 그래프를 마우스 오른쪽 버튼으로 클릭하고 그래프> 크기 및 척도> 등각 투영 크기 .
이것은 일반적으로 사물을 조정하여 문제를 해결하므로 종횡비가 데이터 세트에있는 것에 더 가깝게 근접합니다. 그러나 전체 웨이퍼 맵을보고 있지 않은 경우 프레임 크기 옵션 (메뉴에서 크기에서 아이소 메트릭으로 위)을 사용하여 수동으로 조정해야 할 수 있습니다.
결론과 뻔뻔한 플러그
그래서 그게 진짜입니다. 웨이퍼 맵은 아주 간단합니다. 이제 패턴 화되지 않은 웨이퍼 맵 (베어 웨이퍼 맵이라고도 함)을 만들려고 여기에왔다면 데이터 세트가 희박하고 샘플링 계획이 결과에 약간의 편향을 부여하기 때문에 생성하기가 조금 더 어렵습니다. 하지만 2016 JMP Discovery Summit에서 베어 웨이퍼 맵을 작성하는 방법에 대한 논문을 작성했습니다. 여기에서 찾을 수 있습니다. 모든 웨이퍼 맵이 잘못됨 : 반도체 데이터 시각화의 모험 . 이제 기본 히트 맵을 보이게하려면 더 예뻐 , 또는 베어 웨이퍼 맵을 신속하게 만들고 싶거나 추가 기능을 사용하여 무거운 작업을 수행하려는 경우 반도체 도구 키트 (STK). 같은 Discovery Summit 프레젠테이션의 일부로 시작되었습니다. 지금은 너무 깊이 들어 가지 않겠지 만, 2021 년 후반에 STK의 최신 버전에 대한 추가 기사를 찾아보십시오.
따라서 지금은 한 가지만 기억하십시오. 웨이퍼 맵은 원처럼 보이는 열지도 일뿐입니다.
헉 -기준선으로 할 수 있습니다. 축을 마우스 오른쪽 버튼으로 클릭하고 축 속성을 선택하여 축 속성 대화 상자에 액세스합니다. 참 조선 추가는 영역의 오른쪽 아래에서 처리됩니다.
베스트,
미디엄
감사합니다 Mike. 축 열 속성으로 수행했지만 데이터를 필터링하면 해당 선이 더 이상 스테퍼 필드를 나타내지 않습니다.서수 대신에 X 및 Y 좌표를 명목상으로 만드는 작업을하고 있습니다. 그것들을 명목상으로 취급하는 데 차이가 있음을 발견 했습니까? 필터링하기 전에 웨이퍼 맵 (스테퍼 필드가 올바르게 표시됨)과 장치 유형별 로컬 필터링이있는 맵 (더 이상 스테퍼 필드가 올바르게 표시되지 않음)을 포함했습니다.
그 이유는 아래에서 (명목 또는 서수 값을 다룰 때) JMP가 실제로 값 레이블 체계를 수행하기 때문입니다. 축 속성에서 확인할 수 있습니다.
따라서 필터링을 통해 항목을 변경하면 기본 값 레이블 할당이 변경됩니다 (하지만 참 조선은 동일하게 유지). 당신이 보는 문제의 원인입니다. 히트 맵은 웨이퍼 매핑을위한 완벽한 솔루션은 아니지만 (이 기사에서는 빠르며 더티 인 것입니다.) 서식이 약간 부서지기 쉽습니다.
미디엄
웨이퍼 맵에 하나 이상의 기능을 추가하는 방법이 있습니까?제 경우에는 "Zone"이 하나의 웨이퍼 맵에 X, Y, Defects 및 Zone을 표시 할 수 있는지 궁금합니다.
여기서 설명하는 웨이퍼 맵은 매우 기본적입니다. 구역 맵과 같은 것은 각 다이가있는 구역에 대한 시각적 신호를 제공하는 사용자 정의 모양 파일과 함께 제공되는 것이 더 좋습니다. 또 다른 생각은 사용자 정의 아래에 원을 마우스 오른쪽 버튼으로 클릭하고 추가하여 웨이퍼 맵에 원에 주석을 달 수 있다는 것입니다.
베스트,
미디엄
감사합니다 Mike! 3x5 다이 패턴의 테두리와 같은 스테퍼 필드 라인을 추가하는 방법을 배우기를 고대합니다!
