エンジニアリングメールバッグ
エピソード6：30秒未満のウェーハマップ
TL; DR
30秒以内にこれを行う方法を説明します* !! 詳細が必要な場合は、読んでください！
*ウォークスルーには約3分40秒かかりますが、マウスクリックには約30秒かかります。
前書き
JMPでどのようにウェーハマップを作成しますか？
この質問があります…たくさん。 そこで、グラフビルダーですばやく汚れたパターンのウェーハマップを作成する方法について、エンジニアリングメールバッグ（エンジニアリングポストカードなど）からの簡単なメモを次に示します。
基本マップ
この議論のために、私は焦点を当てるつもりですパターン化されたウェーハマップ。 これらはピンチで作成するのは非常に簡単で、少なくとも3つの情報が必要です：XダイID、YダイID、およびマップに色を付けるための情報（ソートビン、Vt、フィルムの厚さ、粒子数、あなたはアイデアを得る）。 このトピックに夢中になる可能性があります。その一部については最後に触れますが、このディスカッションでは、非常に基本的な「適切なポイントを取得するだけ」に焦点を当てたいと思います。方向」ウェーハマップ。 そして、そのためには、これら3つのデータが必要です。 そのデータはありますか？
あなたがやる！
甘い。 次に、これを実行しましょう。
便利なデータセットがない場合は、に含まれているサンプルデータセットがありますJMP （これは私が使用するデータセットでもあります）これを使用して、実行するまで追跡できます。 に行くだけヘルプ>サンプルデータライブラリJMPで選択しますウェーハStacked.jmp 。
パターン化されたウェーハマップは、ヒートマップと呼ばれるものの単なる凝った改造です。 そして、ヒートマップは本当に、本当に画像内の各ピクセルが1つのもの（デバイス、ダイ、レチクルフィールドなど）を表す低解像度画像。 そして、たまたま、ヒートマップ（したがってウェーハマップ）はグラフビルダーで非常に簡単に作成できます！ それがどのように機能するのかおかしいですよね？
まず、データが正しく設定されていることを確認する必要があります。 1列に1つのダイがある背の高いテーブルで最適に機能します。 Xダイ列とYダイ列を作成すると、ヒートマップの作成もはるかに簡単になります。序数データ。 工場のデータベースまたは製造ツールからJMPにデータをプルする場合、XDie列とYDie列は通常次のようになります。連続。 通常、これは分析にとっては大したことではありませんが、視覚化の目的では、序数。 したがって、データアイコンを右クリックして、青い三角形（連続）から緑の並べ替えられたヒストグラム（通常）に変更します。
さて、楽しい部分です。 グラフビルダーを開く（グラフ>グラフビルダーJMPで）。 Xダイ列を下部X軸ドロップゾーンにドラッグします。 Yダイ列を左Y軸ドロップゾーンにドラッグします。 目的のパラメータをウィンドウの右端にあるカラードロップゾーンにドラッグします。 最後に、インターフェイスの上部にあるリストからヒートマップグラフ要素を選択します。 [完了]をクリックします。 これで、ウェーハマップが作成されました。
これが、Wafer Stacked.jmpデータセットを使用したGraphBuilderの完成したウェーハマップです（そして色をいじくり回します）。
マップを分割したい場合（ロット内のウェーハ、プロセスステップなど）、マップしたい変数をラップドロップゾーン（カラードロップゾーンの左側）に配置するだけです。 ページドロップゾーン（インターフェイスの右下）またはX / Yグループドロップゾーンを使用してさらに分割できます。 それらをすべて試してみて、どれが好きかを確認してください。 それらにはすべて長所と短所があります。 これは、ラップドロップゾーンを使用して（ここでもクリエイティブなカラーリングを使用して）ロットの欠陥の合計を確認する例です。
アスペクト比の調整
少し洗練してみましょう。 通常、ウェーハマップは円形であると予想されますが、ダイのアスペクト比によってヒートマップが混乱する可能性があります。 ウェーハが少し不安定に見えても情報が効果的に伝達されるため、これは本当に美的な考慮事項です。 ウェーハマップの歪んだスクリーンショットで見たスライドデッキの数を考えてみてください。 彼らはひどいように見えるかもしれませんが、それでも彼らは仕事をします。
とにかく、マップを少しきれいにするために使用できるトリックがあります。 グラフを右クリックして選択するだけですグラフ>サイズとスケール>サイズからアイソメ図。
これは通常、物事を調整することで問題を修正するため、アスペクト比はデータセットの内容により近くなります。 ただし、完全なウェーハマップを表示していない場合は、[フレームサイズ]オプション（メニューの[サイズからアイソメ]の上にあります）を使用して手動で調整する必要がある場合があります。
結論と恥知らずなプラグ
だから、それは本当にそれです。 ウェーハマップはとてもシンプルです。 ここで、パターン化されていないウェーハマップ（ベアウェーハマップとも呼ばれます）を作成する場合、データセットがまばらであり、サンプリングプランによって結果にバイアスがかかることがあるため、作成が少し難しくなります。 しかし、私は2016 JMP DiscoverySummitでベアウェーハマップの作成方法に関する論文を作成しました。 あなたはここでそれを見つけることができます：すべてのウェーハマップが間違っている：半導体データの視覚化における冒険。 ここで、基本的なヒートマップを表示したい場合さらにきれい、またはベアウェーハマップをすばやく作成したい場合、または単にアドインに手間のかかる作業を実行させたい場合は、と呼ばれるアドインがあります。半導体ツールキット（STK）。 これは、同じディスカバリーサミットのプレゼンテーションの一部として開始されました。 今はあまり深く掘り下げるつもりはありませんが、2021年後半のSTKの最新バージョンに関する追加の記事を探してください。
したがって、今のところ、覚えておいてください。ウェーハマップは単なるヒートマップであり、円のように見えます。
@dlifke -参照線でそれを行うことができます。 軸を右クリックし、軸のプロパティを選択して、[軸のプロパティ]ダイアログにアクセスします。 参照線の追加は、領域の右下で処理されます。
ベスト、
M
マイクに感謝します。 これをAxisColumn Propertiesとして実行しましたが、データをフィルター処理すると、これらの線が移動し、ステッパーフィールドを表しなくなります。X座標とY座標を序数ではなく名義にすることをいじっています。 それらを名目として扱うことに違いに気づきましたか？ フィルタリング前のウェーハマップ（ステッパーフィールドを正しく表示）と、デバイスタイプによるローカルフィルタリングを使用したマップ（ステッパーフィールドを正しく表示しなくなった）を含めました。
これは、その下（公称値または順序値を処理している場合）で、JMPが実際に値ラベルスキームを実行しているためです。 これは、軸のプロパティで確認できます。
したがって、フィルタリングを介して変更すると、基になる値ラベルの割り当てが変更されます（ただし、参照行は同じままにします）。 それはあなたが見ている問題を引き起こします。 ヒートマップは、ウェーハマッピングの完璧なソリューションではありません（そのため、この記事ではクイックでダーティです）が、ピンチで実行できます。 フォーマットは少しもろいです。
M
もう1つの機能をウェーハマップに追加する方法はありますか？私の場合、「ゾーン」では、X、Y、欠陥、ゾーンを1つのウェーハマップに表示できるかどうか疑問に思います。
ここで説明するウェーハマップはかなり基本的なものです。 ゾーンマップのようなものは、各ダイがどのゾーンにあるかについての視覚的な手がかりを提供するカスタムシェープファイルでより適切に提供されます。 もう1つの考えは、右クリックして[カスタマイズ]の下に円を追加することで、ウェーハマップ上の円に注釈を付けることができるということです。
ベスト、
M
ありがとうマイク！ 3x5ダイパターンの境界線など、ステッパーの力線を追加する方法を学ぶのを楽しみにしています！
