Le sac postal d'ingénierie
Épisode 6: Wafer Maps en moins de 30 secondes
TL; DR
Je vous explique comment faire cela en moins de 30 secondes * !! Si vous voulez des détails, lisez la suite!
* La marche à travers me prend environ 3 minutes et 40 secondes, mais les clics de souris prennent environ 30 secondes, en haut.
introduction
Comment créer une carte de tranches dans JMP?
Je reçois cette question… beaucoup. Alors, voici une note rapide du Engineering Mailbag (une carte postale d'ingénierie, peut-être?) Sur la façon de créer une carte de plaquettes à motifs rapide et sale dans Graph Builder.
La carte de base
Pour cette discussion, je vais me concentrer sur le carte de gaufrettes à motifs. Celles-ci sont extrêmement simples à créer à la rigueur et nécessitent simplement, au minimum, trois informations: l'ID X Die, l'ID Y Die et quelque chose pour colorer la carte (tri bin, Vt, épaisseur du film, nombre de particules, vous avez eu l'idée). Nous pourrions devenir fous avec ce sujet, et je vais en aborder une partie vers la fin, mais pour cette discussion, je veux me concentrer sur un élément très basique, "juste-me-pointer-dans-la-droite- carte de wafer direction ”. Et, pour cela, nous aurons juste besoin de ces trois données. Avez-vous ces données?
Tu fais!
Sucré. Alors, faisons ceci.
Si vous ne disposez pas d'un ensemble de données à portée de main, un exemple d'ensemble de données est inclus avec JMP (qui est également l'ensemble de données que je vais utiliser) que vous pouvez utiliser pour suivre jusqu'à ce que vous le fassiez. Allez simplement à Aide> Exemple de bibliothèque de données dans JMP et sélectionnez Wafer Stacked.jmp .
La carte de plaquettes à motifs n'est qu'un réoutillage sophistiqué de ce qu'on appelle une carte thermique. Et il s'avère qu'une carte thermique est juste un vraiment, vraiment image basse résolution où chaque pixel de l'image représente une chose (un appareil, un dé, un champ de réticule, etc.). Et, en l'occurrence, les cartes thermiques (et donc les cartes de wafer) sont vraiment faciles à créer dans Graph Builder! C'est drôle comment ça marche, hein?
Tout d'abord, nous devons nous assurer que les données sont correctement configurées. Cela fonctionne mieux avec une table haute avec un dé par rangée. Créer la carte thermique est également beaucoup plus facile si vous créez vos colonnes X Die et Y Die ordinal Les données. Lorsque vous extrayez des données dans JMP à partir d'une base de données d'usine ou d'un outil de fabrication, les colonnes X Die et Y Die seront généralement continu . Normalement, ce n'est pas un gros problème pour l'analyse, mais à des fins de visualisation, ils doivent être ordinal . Alors, faites un clic droit sur l'icône de données et changez-les de triangles bleus (continus) en histogrammes triés en vert (ordinal).
Maintenant, pour la partie amusante. Ouvrez Graph Builder ( Graphique> Générateur de graphiques dans JMP). Faites glisser votre colonne X Die vers la zone de dépôt de l'axe X inférieur. Faites glisser votre colonne Y Die vers la zone de dépôt de l'axe Y gauche. Faites glisser le paramètre qui vous intéresse dans la zone de dépôt de couleur à l'extrême droite de la fenêtre. Enfin, sélectionnez l'élément graphique de la carte thermique dans la liste située en haut de l'interface. Cliquez sur Terminé! Vous venez de créer une carte de tranches.
Et voici une carte de plaquettes finie dans Graph Builder utilisant l'ensemble de données Wafer Stacked.jmp (et quelques bricolages avec les couleurs).
Si vous souhaitez diviser la carte (par tranches dans un lot, étape du processus, etc.), placez simplement la variable que vous souhaitez mapper dans la zone de dépôt Wrap (à gauche de la zone de dépôt de couleur). Vous pouvez le diviser davantage en utilisant la zone de dépôt de page (en bas à droite de l'interface) ou les zones de dépôt de groupe X / Y. Essayez-les tous et voyez ceux que vous aimez. Ils ont tous leurs avantages et leurs inconvénients. Voici un exemple dans lequel je regarde les totaux de beaucoup de défauts à l'aide de la zone de dépôt Wrap (encore une fois en utilisant une coloration créative):
Affiner le rapport hauteur / largeur
Faisons un peu de raffinement. Nous nous attendons généralement à ce que les cartes de plaquettes soient circulaires, mais le rapport hauteur / largeur de la matrice peut confondre la carte thermique. C'est vraiment une considération esthétique car l'information est toujours transmise efficacement même si la plaquette semble un peu bancale. Pensez au nombre de diapositives que vous avez vues avec des captures d'écran déformées de cartes de plaquettes. Ils peuvent avoir l'air affreux, mais ils font toujours le travail.
Quoi qu'il en soit, il y a une astuce que nous pouvons utiliser pour améliorer un peu la carte. Faites un clic droit sur le graphique et sélectionnez Graphique> Taille et échelle> Taille à isométrique .
Cela corrigera généralement le problème en ajustant les choses, de sorte que le rapport hauteur / largeur se rapproche plus étroitement de ce qui se trouve dans l'ensemble de données. Cependant, si vous ne regardez pas les cartes de plaquettes complètes, vous devrez peut-être ajuster manuellement les choses à l'aide de l'option Taille du cadre (qui est au-dessus de Taille à isométrique dans le menu).
Conclusions et une prise sans vergogne
Alors, c'est vraiment ça. Les cartes Wafer sont aussi simples que cela. Maintenant, si vous êtes venu ici pour créer des cartes de plaquettes sans motifs (également appelées cartes de plaquettes nues), celles-ci sont un peu plus difficiles à créer car l'ensemble de données est clairsemé et le plan d'échantillonnage donne parfois un biais aux résultats. Mais, j'ai fait un article sur la façon de faire des cartes de plaquettes nues lors du JMP Discovery Summit 2016. Vous pouvez le trouver ici: Toutes les cartes de plaquettes sont fausses: une aventure dans la visualisation de données de semi-conducteurs . Maintenant, si vous voulez faire ressembler la carte de chaleur de base encore plus jolie , ou souhaitez créer rapidement des cartes de plaquettes nues, ou souhaitez simplement qu'un complément fasse le gros du travail pour vous, il existe un complément appelé le Kit d'outils pour semi-conducteurs (STK). Il a été lancé dans le cadre de cette même présentation du Discovery Summit. Je ne vais pas aller trop loin maintenant, mais recherchez des articles supplémentaires sur la dernière version du STK plus tard en 2021.
Alors pour l'instant, rappelez-vous juste une chose: les Wafer maps ne sont que des heat maps - qui ressemblent à des cercles.
Merci Mike. J'ai fait cela en tant que propriétés de colonne de l'axe, mais lorsque je filtre les données, ces lignes se déplacent et ne représentent plus le champ stepper.Je suis en train de bricoler pour rendre les coordonnées X et Y nominales au lieu d'ordinales. Avez-vous remarqué une différence en les traitant comme nominaux? J'ai inclus une carte de plaquettes avant le filtrage (affiche correctement les champs pas à pas) et une carte avec filtrage local par type d'appareil (qui n'affiche plus correctement les champs pas à pas).
En effet, en dessous (lorsque vous avez affaire à des valeurs nominales ou ordinales), JMP fait en fait un schéma d'étiquette de valeur. Vous pouvez le voir dans les propriétés de l'axe.
Ainsi, lorsque vous changez les choses via le filtrage, cela va changer les attributions d'étiquettes de valeur sous-jacentes (mais laisser les lignes de référence identiques). Ce qui cause le problème de votre vision. Les cartes thermiques ne sont pas une solution parfaite pour la cartographie des tranches (c'est pourquoi c'est rapide et sale dans l'article) - mais elles le feront à la rigueur. Le formatage est juste un peu cassant.
M
Existe-t-il un moyen d'ajouter une autre fonctionnalité à la carte des plaquettes?Dans mon cas, "Zone", je me demande s'il est possible d'afficher X, Y, les défauts et la zone sur une carte de wafer.
Les cartes de plaquettes que je décris ici sont assez basiques. Quelque chose comme une carte zonée serait mieux servie avec un fichier de forme personnalisé qui fournit un repère visuel sur la zone dans laquelle se trouve chaque dé. Une autre idée est que vous pouvez annoter des cercles sur une carte de plaquettes en cliquant avec le bouton droit de la souris et en ajoutant un cercle sous personnaliser.
Meilleur,
M
