工程邮袋
第6集：30秒内的晶圆图
TL; DR
这是我带领您完成如何在30秒内完成此操作*！ 如果您需要详细信息，请继续阅读！
*整个演练花了我大约3分40秒，但鼠标单击顶大约需要30秒。
介绍
您如何在JMP中制作晶圆图？
我得到这个问题……很多。 因此，这里有一封来自Engineering Mailbag（也许是一张工程明信片？）的快速笔记，内容涉及如何在Graph Builder中创建快速且脏的有图案的晶圆图。
基本地图
在此讨论中，我将专注于图案化的晶圆图。 这些内容一瞬间创建起来非常简单，只需要最少三条信息：X模具ID，Y模具ID以及一些用来给地图着色的东西（分类箱，Vt，膜厚，颗粒数，你有主意）。 我们可能会对此主题感到疯狂，在结尾时我会涉及其中一些，但是在本次讨论中，我想着重介绍一个超级基本的“正对我，指向正确，方向”晶圆图。 而且，为此，我们只需要这三部分数据。 你有那个数据吗？
你做！
甜。 然后，让我们开始吧。
如果您没有方便的数据集，那么其中包含一个示例数据集JMP （这也是我将要使用的数据集），您可以使用它直到完成为止。 只是去帮助>示例数据库在JMP中，然后选择晶圆堆叠。
图案化的晶圆图只是对所谓的热图进行了重新设计。 事实证明，热图只是一个真正的真低分辨率图像，其中图像中的每个像素代表一个物体（设备，芯片，标线片场等）。 而且，碰巧，热图（以及晶圆图）在Graph Builder中非常容易制作！ 有趣的是怎么运作的，是吗？
首先，我们需要确保数据设置正确。 最适合在每排一个骰子的高桌子上使用。 如果您制作X Die和Y Die列，制作热图也容易得多序数数据。 当您从工厂数据库或制造工具将数据提取到JMP中时，X Die和Y Die列通常为连续。 通常，对于分析而言，这没什么大不了的，但是出于可视化的目的，它们需要序数。 因此，右键单击数据图标，然后将其从蓝色三角形（连续）更改为绿色排序的直方图（常规）。
现在是有趣的部分。 打开图形生成器（图形>图形生成器在JMP中）。 将您的X模具列拖到底部X轴放置区。 将“ Y模具”列拖动到“左Y轴放置区”。 将您感兴趣的参数拖到窗口最右边的“ Color Drop Zone”。 最后，从界面顶部的列表中选择“热图图形元素”。 单击完成！ 现在，您已经创建了晶圆图。
这是使用Wafer Stacked.jmp数据集（以及一些修补颜色）在Graph Builder中完成的晶圆图。
如果要分解映射（通过大量晶片，工艺步骤等），只需将要映射的变量放在Wrap Drop Zone中（在Color Drop Zone的左侧）。 您可以使用Page Drop Zone（界面右下角）或X / Y Group Drop Zones进一步分解。 试试看，看看你喜欢哪个。 它们都有优点和缺点。 这是一个示例，其中我使用“包裹掉落区”（再次使用某些创意着色）查看批次缺陷总数：
改善宽高比
让我们做些改进。 我们通常希望晶片图是圆形的，但是管芯的纵横比会混淆热图。 这实际上是一个美学考虑，因为即使晶片看起来有些不规则，信息仍然可以有效地传送。 想一想您通过扭曲的晶圆图屏幕截图看到了多少个幻灯片。 他们可能看起来很糟糕，但是他们仍然可以完成任务。
无论如何，有一个技巧可以用来美化地图。 只需右键单击该图并选择图形>尺寸和比例>尺寸到等轴测图。
通常，这可以通过调整内容来纠正问题，因此宽高比更接近数据集中的内容。 但是，如果您没有查看完整的晶圆图，则可能需要使用“框架尺寸”选项（在菜单中“尺寸到等轴测图”上方）手动调整。
结论和无耻的插头
就是这样。 晶圆图就是这么简单。 现在，如果您来这里是想制作无图案的晶圆图（也称为裸晶圆图），由于数据集稀疏且采样计划有时会给结果带来一些偏差，因此创建起来有些困难。 但是，我确实在2016年JMP探索峰会上做了一篇关于如何制作裸晶片地图的论文。 您可以在这里找到：所有晶圆图都错了：半导体数据可视化历险记。 现在，如果要使基本热图看起来更漂亮，或者想要快速制作裸晶圆图，或者只是想让一个插件为您完成繁重的工作，有一个名为的插件半导体工具套件（STK）。 它是同一“发现峰会”演示文稿的一部分启动。 我现在不打算对其进行深入研究，而是在2021年晚些时候寻找有关STK最新版本的其他文章。
因此，现在，请记住一件事：晶圆图只是热图-看起来像圆形。
@dlifke -您可以使用参考线做到这一点。 只需右键单击轴并选择轴属性即可访问“轴属性”对话框。 添加参考线在该区域的右下方。
最好，
中号
谢谢迈克。 我已经将其做为“轴列属性”，但是当我过滤数据时，这些线会四处移动，不再代表步进器字段。我正在努力使X和Y坐标标称，而不是序数。 您是否注意到将它们视为标称的任何区别？ 我在过滤之前包括了一个晶圆图（正确显示了步进器字段），并在设备类型中进行了局部过滤（不再正确显示步进器字段）。
这是因为在下面（当您处理标称值或序数值时），JMP实际上正在执行一个值标签方案。 您可以在轴属性中看到这一点。
因此，当您通过过滤更改内容时，它将更改基础的值标签分配（但参考线保持不变）。 造成您看到的问题。 对于晶片映射来说，热图并不是一个完美的解决方案（这就是为什么本文中的“快速”和“肮脏”）的原因-但它们会在一定程度上发挥作用。 格式只是有点脆弱。
中号
有没有办法在晶圆图上添加更多功能？以我的“ Zone”（区域）为例，我想知道是否可以在一个晶圆图上显示X，Y，缺陷和区域。
我在这里描述的晶圆图非常基本。 使用自定义形状文件可以更好地配合分区地图之类的功能，该文件可以提供有关每个骰子所在区域的可视提示。 另一个想法是，您可以通过右键单击并在定制下添加圆来在晶圆图上注释圆。
最好的，
中号
谢谢迈克！ 期待学习如何添加步进场线，例如3x5模具图案的边框！
