工程郵袋
第6集：30秒內的晶圓圖
TL; DR
這是我帶領您完成如何在30秒內完成此操作*！ 如果您需要詳細信息，請繼續閱讀！
*整個演練花了我大約3分40秒，但鼠標單擊頂大約需要30秒。
介紹
您如何在JMP中製作晶圓圖？
我得到這個問題……很多。 因此，這裡有一封來自Engineering Mailbag（也許是一張工程明信片？）的快速筆記，內容涉及如何在Graph Builder中創建快速且臟的有圖案的晶圓圖。
基本地圖
在此討論中，我將專注於圖案化的晶圓圖。 這些內容一瞬間創建起來非常簡單，只需要最少三條信息：X模具ID，Y模具ID以及一些用來給地圖著色的東西（分類箱，Vt，膜厚，顆粒數，你有主意）。 我們可能會對此主題感到瘋狂，在結尾時我會涉及其中一些，但是在本次討論中，我想著重介紹一個超級基本的“正對我，指向正確，方向”晶圓圖。 而且，為此，我們只需要這三部分數據。 你有那個數據嗎？
你做！
甜。 然後，讓我們開始吧。
如果您沒有方便的數據集，那麼其中包含一個示例數據集JMP （這也是我將要使用的數據集），您可以使用它直到完成為止。 只是去幫助>示例數據庫在JMP中，然後選擇晶圓堆疊。
圖案化的晶圓圖只是對所謂的熱圖進行了重新設計。 事實證明，熱圖只是一個真正的真低分辨率圖像，其中圖像中的每個像素代表一個物體（設備，芯片，標線片場等）。 而且，碰巧，熱圖（以及晶圓圖）在Graph Builder中非常容易製作！ 有趣的是怎麼運作的，是嗎？
首先，我們需要確保數據設置正確。 最適合在每排一個骰子的高桌子上使用。 如果您製作X Die和Y Die列，製作熱圖也容易得多序數數據。 當您從工廠數據庫或製造工具將數據提取到JMP中時，X Die和Y Die列通常為連續。 通常，對於分析而言，這沒什麼大不了的，但是出於可視化的目的，它們需要序數。 因此，右鍵單擊數據圖標，然後將其從藍色三角形（連續）更改為綠色排序的直方圖（常規）。
現在是有趣的部分。 打開圖形生成器（圖形>圖形生成器在JMP中）。 將您的X模具列拖到底部X軸放置區。 將“ Y模具”列拖動到“左Y軸放置區”。 將您感興趣的參數拖到窗口最右邊的“ Color Drop Zone”。 最後，從界面頂部的列表中選擇“熱圖圖形元素”。 單擊完成！ 現在，您已經創建了晶圓圖。
這是使用Wafer Stacked.jmp數據集（以及一些修補顏色）在Graph Builder中完成的晶圓圖。
如果要分解映射（通過大量晶片，工藝步驟等），只需將要映射的變量放在Wrap Drop Zone中（在Color Drop Zone的左側）。 您可以使用Page Drop Zone（界面右下角）或X / Y Group Drop Zones進一步分解。 試試看，看看你喜歡哪個。 它們都有優點和缺點。 這是一個示例，其中我使用“包裹掉落區”（再次使用某些創意著色）查看批次缺陷總數：
改善寬高比
讓我們做些改進。 我們通常希望晶片圖是圓形的，但是管芯的縱橫比會混淆熱圖。 這實際上是一個美學考慮，因為即使晶片看起來有些不規則，信息仍然可以有效地傳送。 想一想您通過扭曲的晶圓圖屏幕截圖看到了多少個幻燈片。 他們可能看起來很糟糕，但是他們仍然可以完成任務。
無論如何，有一個技巧可以用來美化地圖。 只需右鍵單擊該圖並選擇圖形>尺寸和比例>尺寸到等軸測圖。
通常，這可以通過調整內容來糾正問題，因此寬高比更接近數據集中的內容。 但是，如果您沒有查看完整的晶圓圖，則可能需要使用“框架尺寸”選項（在菜單中“尺寸到等軸測圖”上方）進行手動調整。
結論和無恥的插頭
就是這樣。 晶圓圖就是這麼簡單。 現在，如果您來這裡是想製作無圖案的晶圓圖（也稱為裸晶圓圖），由於數據集稀疏且採樣計劃有時會給結果帶來一些偏差，因此創建起來有些困難。 但是，我確實在2016年JMP探索峰會上做了一篇關於如何製作裸晶片地圖的論文。 您可以在這裡找到：所有晶圓圖都錯了：半導體數據可視化歷險記。 現在，如果要使基本熱圖看起來更漂亮，或者想要快速製作裸晶圓圖，或者只是想讓一個插件為您完成繁重的工作，有一個名為的插件半導體工具套件（STK）。 它是同一“發現峰會”演示文稿的一部分啟動。 我現在不打算對其進行深入研究，而是在2021年晚些時候尋找有關STK最新版本的其他文章。
因此，現在，請記住一件事：晶圓圖只是熱圖-看起來像圓形。
@dlifke -您可以使用參考線做到這一點。 只需右鍵單擊軸並選擇軸屬性即可訪問“軸屬性”對話框。 添加參考線在該區域的右下方。
最好，
中號
謝謝邁克。 我已經將其做為“軸列屬性”，但是當我過濾數據時，這些線會四處移動，不再代表步進器字段。我正在努力使X和Y坐標標稱，而不是序數。 您是否注意到將它們視為標稱的任何區別？ 我在過濾之前包括了一個晶圓圖（正確顯示了步進器字段），並在設備類型中進行了局部過濾（不再正確顯示步進器字段）。
這是因為在下面（當您處理標稱值或序數值時），JMP實際上正在執行一個值標籤方案。 您可以在軸屬性中看到這一點。
因此，當您通過過濾更改內容時，它將更改基礎的值標籤分配（但參考線保持不變）。 造成您看到的問題。 對於晶片映射來說，熱圖並不是一個完美的解決方案（這就是為什麼本文中的“快速”和“骯髒”）的原因-但它們會在一定程度上發揮作用。 格式只是有點脆弱。
中號
有沒有辦法在晶圓圖上添加更多功能？以我的“ Zone”（區域）為例，我想知道是否可以在一個晶圓圖上顯示X，Y，缺陷和區域。
我在這裡描述的晶圓圖非常基本。 使用自定義形狀文件可以更好地配合分區地圖之類的功能，該文件可以提供有關每個骰子所在區域的可視提示。 另一個想法是，您可以通過右鍵單擊並在定制下添加圓來在晶圓圖上註釋圓。
最好的，
中號
謝謝邁克！ 期待學習如何添加步進場線，例如3x5模具圖案的邊框！
