Der Engineering Mailbag
Folge 6: Wafer-Karten in weniger als 30 Sekunden
TL; DR
Hier bin ich, der Ihnen erklärt, wie das in weniger als 30 Sekunden geht * !! Wenn Sie Details wünschen, lesen Sie weiter!
* Der Durchgang dauert ungefähr 3 Minuten und 40 Sekunden, aber die Mausklicks dauern ungefähr 30 Sekunden.
Einführung
Wie erstellt man eine Waferkarte in JMP?
Ich habe diese Frage ... sehr oft. Hier ist ein kurzer Hinweis aus dem Engineering Mailbag (vielleicht eine Engineering Postcard?), Wie Sie in Graph Builder eine schnelle und schmutzig gemusterte Waferkarte erstellen können.
Die Grundkarte
Bei dieser Diskussion werde ich mich auf das konzentrieren gemusterte Waferkarte. Diese sind im Handumdrehen ganz einfach zu erstellen und erfordern mindestens drei Informationen: die X-Matrizen-ID, die Y-Matrizen-ID und etwas zum Färben der Karte (Sortierfach, Vt, Filmdicke, Partikelanzahl, Du hast die Idee). Wir könnten mit diesem Thema verrückt werden, und ich werde gegen Ende etwas davon ansprechen, aber für diese Diskussion möchte ich mich auf ein super grundlegendes Thema konzentrieren: „Lass mich einfach auf das Richtige zeigen“ Richtung ”Waferkarte. Und dafür brauchen wir nur diese drei Daten. Haben Sie diese Daten?
Sie machen!
Süss. Dann lass uns das machen.
Wenn Sie keinen Datensatz zur Hand haben, ist ein Beispieldatensatz enthalten JMP (das ist auch der Datensatz, den ich verwenden werde), den Sie verwenden können, um mitzumachen, bis Sie dies tun. Geh einfach zu Hilfe> Beispieldatenbibliothek in JMP und wählen Sie Wafer Stacked.jmp .
Die gemusterte Waferkarte ist nur eine ausgefallene Umrüstung einer sogenannten Wärmekarte. Und es stellt sich heraus, dass eine Heatmap nur eine wirklich ist, Ja wirklich Bild mit niedriger Auflösung, bei dem jedes Pixel im Bild eine Sache darstellt (ein Gerät, einen Würfel, ein Fadenkreuzfeld usw.). Und zufällig sind Heatmaps (und damit Wafer-Maps) in Graph Builder wirklich einfach zu erstellen! Komisch, wie das funktioniert, oder?
Zunächst müssen wir sicherstellen, dass die Daten korrekt eingerichtet sind. Es funktioniert am besten mit einem hohen Tisch mit einem Würfel pro Reihe. Das Erstellen der Heatmap ist auch viel einfacher, wenn Sie Ihre X Die- und Y Die-Spalten erstellen Ordinal- Daten. Wenn Sie Daten aus einer Fabrikdatenbank oder einem Fertigungswerkzeug in JMP ziehen, werden normalerweise die Spalten X Die und Y Die angezeigt kontinuierlich . Normalerweise ist dies keine große Sache für die Analyse, aber für Visualisierungszwecke müssen sie es sein Ordinal- . Klicken Sie also mit der rechten Maustaste auf das Datensymbol und ändern Sie sie von blauen Dreiecken (fortlaufend) in grün sortierte Histogramme (ordinal).
Nun zum lustigen Teil. Öffnen Sie den Graph Builder ( Graph> Graph Builder in JMP). Ziehen Sie Ihre X Die-Spalte in die Drop-Zone der unteren X-Achse. Ziehen Sie Ihre Y-Würfel-Spalte in die Drop-Zone der linken Y-Achse. Ziehen Sie Ihren gewünschten Parameter in die Farbtropfenzone ganz rechts im Fenster. Wählen Sie zuletzt das Heat Map Graph-Element aus der Liste oben in der Benutzeroberfläche aus. Klicken Sie auf Fertig! Sie haben jetzt eine Waferkarte erstellt.
Und hier ist eine fertige Wafer-Map in Graph Builder, die den Datensatz Wafer Stacked.jmp verwendet (und einige Farben bastelt).
Wenn Sie die Karte aufteilen möchten (nach Wafern in einer Menge, Prozessschritt usw.), fügen Sie einfach die Variable, nach der Sie die Karte zuordnen möchten, in die Wrap-Drop-Zone (links von der Color-Drop-Zone) ein. Sie können es mithilfe der Page Drop Zone (unten rechts in der Benutzeroberfläche) oder der X / Y Group Drop Zones weiter aufteilen. Probieren Sie sie alle aus und finden Sie heraus, welche Ihnen gefallen. Sie alle haben ihre Vor- und Nachteile. Hier ist ein Beispiel, in dem ich die Gesamtmenge der Fehler mithilfe der Wrap Drop Zone (wieder mit kreativen Farben) betrachte:
Verfeinerung des Seitenverhältnisses
Lassen Sie uns ein wenig verfeinern. Wir erwarten im Allgemeinen, dass Waferkarten kreisförmig sind, aber das Seitenverhältnis des Chips kann die Wärmekarte verwirren. Dies ist wirklich eine ästhetische Überlegung, da die Informationen auch dann noch effektiv vermittelt werden, wenn der Wafer ein wenig wackelig aussieht. Überlegen Sie, wie viele Dia-Decks Sie mit verzerrten Screenshots von Wafer-Maps gesehen haben. Sie mögen schrecklich aussehen, aber sie machen immer noch den Job.
Wie auch immer, es gibt einen Trick, mit dem wir die Karte ein wenig verschönern können. Klicken Sie einfach mit der rechten Maustaste auf das Diagramm und wählen Sie Grafik> Größe und Skalierung> Größe auf Isometrie .
Dadurch wird das Problem normalerweise durch Anpassen behoben, sodass sich das Seitenverhältnis dem Inhalt des Datensatzes annähert. Wenn Sie sich jedoch keine vollständigen Waferkarten ansehen, müssen Sie möglicherweise die Einstellungen manuell mithilfe der Option "Rahmengröße" anpassen (die im Menü über "Größe zu Isometrie" steht).
Schlussfolgerungen und ein schamloser Stecker
Also, das ist es wirklich. Waferkarten sind so einfach. Wenn Sie hierher gekommen sind, um nicht gemusterte Wafer-Maps (auch Bare-Wafer-Maps genannt) zu erstellen, sind diese etwas schwieriger zu erstellen, da der Datensatz spärlich ist und der Stichprobenplan den Ergebnissen manchmal eine gewisse Verzerrung verleiht. Aber ich habe auf dem JMP Discovery Summit 2016 einen Artikel darüber verfasst, wie man Bare-Wafer-Karten erstellt. Das finden Sie hier: Alle Wafer-Maps sind falsch: Ein Abenteuer in der Visualisierung von Halbleiterdaten . Nun, wenn Sie die grundlegende Heatmap aussehen lassen möchten noch schöner , oder wenn Sie schnell nackte Waferkarten erstellen möchten oder einfach nur ein Add-In das Schwerheben für Sie erledigen möchten, gibt es ein Add-In namens Halbleiter-Werkzeugsatz (STK). Es wurde im Rahmen derselben Präsentation des Discovery Summit gestartet. Ich werde jetzt nicht zu tief darauf eingehen, aber später im Jahr 2021 nach zusätzlichen Artikeln über die neueste Version des STK suchen.
Denken Sie also vorerst an eines: Waferkarten sind nur Wärmekarten - die wie Kreise aussehen.
@dlifke - Sie könnten das mit Referenzlinien tun. Klicken Sie einfach mit der rechten Maustaste auf die Achse und wählen Sie die Achseneigenschaften aus, um auf das Dialogfeld Achseneigenschaften zuzugreifen. Das Hinzufügen von Referenzlinien wird unten rechts im Bereich behandelt.
Beste,
M.
Danke Mike. Ich habe das als Achsenspalteneigenschaften gemacht, aber wenn ich Daten filtere, bewegen sich diese Linien und repräsentieren nicht mehr das Schrittfeld.Ich bastele daran, X- und Y-Koordinaten nominal statt ordinal zu machen. Haben Sie einen Unterschied bei der Behandlung als nominal bemerkt? Ich habe vor dem Filtern eine Wafer-Map eingefügt (zeigt Stepper-Felder korrekt an) und eine Map mit lokaler Filterung nach Gerätetyp (die Stepper-Felder nicht mehr korrekt anzeigt).
Das liegt daran, dass JMP darunter (wenn Sie sich mit Nenn- oder Ordnungswerten befassen) tatsächlich ein Wertelabelungsschema erstellt. Sie können dies in den Achseneigenschaften sehen.
Wenn Sie also Dinge durch Filtern ändern, werden die zugrunde liegenden Wertelabelzuweisungen geändert (aber die Referenzzeilen bleiben unverändert). Welches verursacht das Problem, das Sie sehen. Heatmaps sind keine perfekte Lösung für das Wafer-Mapping (deshalb ist es im Artikel schnell und schmutzig) - aber sie tun es zur Not. Die Formatierung ist nur ein wenig spröde.
M.
Gibt es eine Möglichkeit, ein weiteres Feature auf die Wafer-Karte zu setzen?In meinem Fall "Zone" frage ich mich, ob es möglich ist, X, Y, Defekte und Zone auf einer Waferkarte anzuzeigen.
Die Waferkarten, die ich hier beschreibe, sind ziemlich einfach. So etwas wie eine zonierte Karte sollte besser mit einer benutzerdefinierten Formdatei bedient werden, die einen visuellen Hinweis darauf gibt, in welcher Zone sich jeder Würfel befindet. Ein weiterer Gedanke ist, dass Sie Kreise auf einer Waferkarte mit Anmerkungen versehen können, indem Sie mit der rechten Maustaste klicken und unter Anpassen einen Kreis hinzufügen.
Beste,
M.
