如何使用JMP計算批次間、晶圓間、晶圓內變異?我的問題是如何使用 JMP 計算批次間、晶圓間、晶圓內變異並量化均勻性?
例如,我有一張表,該表中有“lot”列,“wafer”列,“site”列,還包括一個數據列。
同一批次內有15 個晶圓,同一晶圓內有20 個站點,因此問題是如何使用JMP 計算和量化批次間、晶圓間、晶圓內的百分比或如何顯示哪個是主要貢獻者,做有公式嗎?
謝謝
大規模定制回复:如何使用JMP計算批次間、晶圓間、晶圓內變異?有兩種估計方差分量的方法。 假設您的抽樣計劃是嵌套的(分層的)並且可能如下所示:

您可以使用控製圖方法來分析數據。 這將從晶圓內層開始,使用範圍圖來確定晶圓內一致性(如果穩定且一致,則通過 Vww = (Rbar/d2)^2 估計方差),然後將晶圓內與其他組件進行比較使用Xbar 圖表進行研究(控制限制是晶圓內變異性的函數)...如果Xbar 失控,則通過總結晶圓內數據並創建新的“捲起樹”基於晶圓間變化等的子組。這將允許評估一致性和估計方差分量。
第二種方法是(按照建議)創建變異性圖表(您的分量必須設置為名義值)並讓 JMP 計算嵌套研究的方差分量。
回复:如何使用JMP計算批次間、晶圓間、晶圓內變異?我認為你可以使用變異圖,然後選擇“方差成分”

最終報告如下所示:

所以試試吧!
回复:如何使用JMP計算批次間、晶圓間、晶圓內變異?您可以分享您的表的子集嗎?