JMP를 사용하여 로트 대 로트, 웨이퍼 대 웨이퍼, 웨이퍼 변형 내에서 계산하는 방법은 무엇입니까?제 질문은 JMP를 사용하여 로트 대 로트, 웨이퍼 대 웨이퍼, 웨이퍼 변동 내에서 계산하고 균일성을 정량화하는 방법입니다.
예를 들어, 하나의 테이블이 있습니다. 이 테이블에는 "lot" 열, "wafer" 열, "site" 열이 있고 하나의 데이터 열도 포함되어 있습니다.
동일한 로트 내에는 15개의 웨이퍼가 있고, 동일한 웨이퍼 내에 20개의 사이트가 있습니다. 따라서 문제는 JMP를 사용하여 로트 대 로트, 웨이퍼 대 웨이퍼, 웨이퍼 내 비율을 계산하고 정량화하거나 주요 기여자가 무엇인지 표시하는 방법입니다. 공식이 있나요?
감사해요
대량 맞춤화Re: JMP를 사용하여 로트 대 로트, 웨이퍼 대 웨이퍼, 웨이퍼 변형 내에서 계산하는 방법은 무엇입니까?분산 성분을 추정하는 방법에는 두 가지가 있습니다. 샘플링 계획이 중첩(계층적)되어 다음과 같다고 가정합니다.
컨트롤 차트 방법을 사용하여 데이터를 분석할 수 있습니다. 이는 웨이퍼 내 일관성을 결정하기 위해 범위 차트를 사용하여 웨이퍼 내 레이어에서 시작합니다(안정적이고 일관된 경우 Vww = (Rbar/d2)^2로 분산을 추정). 그런 다음 웨이퍼 내를 다른 구성 요소와 비교합니다. Xbar 차트를 사용한 연구(관리 한계는 웨이퍼 내부 변동성의 함수입니다)...Xbar가 제어를 벗어난 경우 웨이퍼 내부 데이터를 요약하여 "트리를 롤업"하고 새로운 웨이퍼 간 변동 등에 기반한 하위 그룹입니다. 이를 통해 일관성 평가와 변동 구성 요소 추정이 모두 가능해집니다.
두 번째 방법은 제안된 대로 변동성 차트를 생성하고(구성 요소는 명목형으로 설정되어야 함) JMP가 중첩 연구에 대한 분산 구성 요소를 계산하도록 하는 것입니다.
Re: JMP를 사용하여 로트 대 로트, 웨이퍼 대 웨이퍼, 웨이퍼 변형 내에서 계산하는 방법은 무엇입니까?변동성 플롯을 사용한 다음 "분산 구성 요소"를 선택할 수 있다고 생각합니다.
최종 보고서는 다음과 같습니다.
그러니 한번 시도해 보세요!
Re: JMP를 사용하여 로트 대 로트, 웨이퍼 대 웨이퍼, 웨이퍼 변형 내에서 계산하는 방법은 무엇입니까?테이블의 하위 집합을 공유할 수 있나요?
