JMP を使用してロット間、ウェーハ間、ウェーハ内変動を計算するにはどうすればよいですか?私の質問は、JMP を使用してロット間、ウェーハ間、ウェーハ内変動を計算し、均一性を定量化する方法を教えてください。
たとえば、テーブルが 1 つあり、このテーブルには列「ロット」、列「ウェーハ」、列「サイト」があり、データ列も 1 つ含まれています。
同じロット内には 15 のウェーハがあり、同じウェーハ内には 20 のサイトがあるため、問題は、JMP を使用して、ロット間、ウェーハ対ウェーハ、ウェーハ内でのパーセンテージを計算および定量化する方法、またはどれが主な寄与者であるかを示す方法です。公式はありますか？
ありがとう
マスカスタマイゼーションRe: JMP を使用してロット間、ウェーハ間、ウェーハ内変動を計算するにはどうすればよいですか?分散成分を推定するには 2 つのアプローチがあります。 サンプリング計画がネスト (階層) されており、次のようになっていると仮定します。
管理図法を使用してデータを分析できます。 これは、ウェーハ内の一貫性を決定するための範囲チャートを使用してウェーハ内層から開始し（安定して一貫している場合は、Vww = (Rbar/d2)^2 によって分散を推定します）、次にウェーハ内を他のコンポーネントと比較します。 Xbar管理図を使用した研究（管理限界はウェーハ内のばらつきの関数です）...Xbarが制御不能になった場合は、ウェーハ内のデータを要約して新しいグラフを作成することで「ツリーをロールアップ」しますこれにより、一貫性の評価と分散成分の推定の両方が可能になります。
2 番目の方法は、（推奨されているように）変動チャートを作成し（成分を名目値に設定する必要があります）、JMP にネストされた研究の分散成分を計算させることです。
Re: JMP を使用してロット間、ウェーハ間、ウェーハ内変動を計算するにはどうすればよいですか?変動プロットを使用してから「分散成分」を選択できると思います
最終レポートは次のようになります。
試してみてください!
Re: JMP を使用してロット間、ウェーハ間、ウェーハ内変動を計算するにはどうすればよいですか?テーブルのサブセットを共有できますか?
