如何使用JMP计算批次间、晶圆间、晶圆内变异？我的问题是如何使用 JMP 计算批次间、晶圆间、晶圆内变异并量化均匀性？
例如，我有一张表，该表中有“lot”列，“wafer”列，“site”列，还包括一个数据列。
同一批次内有 15 个晶圆，同一晶圆内有 20 个站点，因此问题是如何使用 JMP 计算和量化批次间、晶圆间、晶圆内的百分比或如何显示哪个是主要贡献者，做有公式吗？
谢谢
大规模定制回复：如何使用JMP计算批次间、晶圆间、晶圆内变异？有两种估计方差分量的方法。 假设您的抽样计划是嵌套的（分层的）并且可能如下所示：
您可以使用控制图方法来分析数据。 这将从晶圆内层开始，使用范围图来确定晶圆内一致性（如果稳定且一致，则通过 Vww = (Rbar/d2)^2 估计方差），然后将晶圆内与其他组件进行比较使用 Xbar 图表进行研究（控制限制是晶圆内变异性的函数）...如果 Xbar 失控，则通过总结晶圆内数据并创建新的“卷起树”基于晶圆间变化等的子组。这将允许评估一致性和估计方差分量。
第二种方法是（按照建议）创建变异性图表（您的分量必须设置为名义值）并让 JMP 计算嵌套研究的方差分量。
回复：如何使用JMP计算批次间、晶圆间、晶圆内变异？我认为你可以使用变异图，然后选择“方差成分”
最终报告如下所示：
所以试试吧！
回复：如何使用JMP计算批次间、晶圆间、晶圆内变异？您可以分享您的表的子集吗？
