JMP를 사용하여 로트 대 로트, 웨이퍼 대 웨이퍼, 웨이퍼 변동 내에서 계산하는 방법은 무엇입니까?제 질문은 JMP를 사용하여 로트 대 로트, 웨이퍼 대 웨이퍼, 웨이퍼 내 변동을 계산하고 균일 성을 정량화하는 방법입니다.
예를 들어, 테이블이 하나 있고이 테이블에는 "lot"열, "wafer"열, "site"열이 있고 데이터 열도 하나 있습니다.
동일한 로트 내에 15 개의 웨이퍼가 있고, 동일한 웨이퍼 내에 20 개의 사이트가 있으므로 질문은 JMP를 사용하여 로트 대 로트, 웨이퍼 대 웨이퍼, 웨이퍼 내 비율을 계산하고 정량화하는 방법 또는 주요 기여자를 표시하는 방법입니다. 공식이 있습니까?
감사
해석학스크립팅Re : JMP를 사용하여 Lot to Lot, Wafer to Wafer, 내 웨이퍼 변동을 계산하는 방법은 무엇입니까?테이블의 일부를 공유 할 수 있습니까?Re : JMP를 사용하여 Lot to Lot, Wafer to Wafer, 내 웨이퍼 변동을 계산하는 방법은 무엇입니까?Variability plot을 사용한 다음 "Variance Components"를 선택할 수 있다고 생각합니다.
최종 보고서는 다음과 같습니다.
그러니 한번 시도해보세요!
Re : JMP를 사용하여 Lot to Lot, Wafer to Wafer, 내 웨이퍼 변동을 계산하는 방법은 무엇입니까?분산 성분을 추정하는 방법에는 두 가지가 있습니다. 샘플링 계획이 중첩 (계층 적)이고 다음과 같이 보일 수 있다고 가정합니다.
관리도 방법을 사용하여 데이터를 분석 할 수 있습니다. 이것은 웨이퍼 내 일관성을 결정하기 위해 범위 차트를 사용하여 웨이퍼 내 레이어에서 시작합니다 (안정적이고 일관성이있는 경우 Vww = (Rbar / d2) ^ 2로 분산을 추정). 그런 다음 내 웨이퍼를 다른 구성 요소와 비교합니다. Xbar 차트를 사용한 연구 (관리 한계는 웨이퍼 내 변동성의 함수입니다) ... Xbar가 제어 범위를 벗어난 경우 내부 웨이퍼 데이터를 요약하고 새 데이터를 생성하여 "트리를 롤업"합니다. 웨이퍼 간 변동 등을 기반으로하는 하위 그룹입니다. 이렇게하면 일관성을 평가하고 변동 성분을 추정 할 수 있습니다.
두 번째 방법은 (제안 된대로) 변동성 차트를 만들고 (구성 요소가 명목으로 설정되어야 함) JMP가 중첩 된 연구에 대한 분산 구성 요소를 계산하도록하는 것입니다.
