JMPを使用してロット間、ウェーハ間、ウェーハ変動内を計算する方法は？私の質問は、JMPを使用して、ロットからロット、ウェーハからウェーハ、ウェーハ変動内で計算し、均一性を定量化する方法です。
たとえば、1つのテーブルがあります。このテーブルには、列「lot」、列「wafer」、列「site」があり、1つのデータ列も含まれています。
同じロット内に15枚のウェーハがあり、同じウェーハ内に20のサイトがあるため、問題は、JMPを使用して、ロット対ロット、ウェーハ対ウェーハ、ウェーハ内のパーセンテージを計算および定量化する方法、または主要な貢献者を示す方法です。式がありますか？
ありがとう
分析スクリプティングRe：JMPを使用して、ロットからロット、ウェーハからウェーハ、ウェーハ変動内を計算する方法は？テーブルのサブセットを共有できますか？Re：JMPを使用して、ロットからロット、ウェーハからウェーハ、ウェーハ変動内を計算する方法は？変動性プロットを使用して、「分散成分」を選択できると思います
最終レポートは次のようになります。
ぜひお試しください。
Re：JMPを使用して、ロット間、ウェーハ間、ウェーハ変動内でロットを計算する方法は？分散成分を推定する方法は2つあります。 サンプリング計画がネストされている（階層的）と仮定すると、次のようになります。
管理図法を使用してデータを分析できます。 これは、範囲チャートを使用してウェーハ内層から開始し、ウェーハ内の一貫性を判断し（安定して一貫している場合は、分散をVww =（Rbar / d2）^ 2で推定します）、次にウェーハ内を他のコンポーネントと比較します。 Xbarチャートを使用した調査（管理限界はウェーハ内変動の関数です）... Xbarが制御不能の場合は、ウェーハ内データを要約し、新しいデータを作成して「ツリーをロールアップ」します。ウェーハ間の変動などに基づくサブグループ。これにより、一貫性の評価と分散成分の推定の両方が可能になります。
2番目の方法は、（提案されているように）変動性チャートを作成し（コンポーネントを公称値に設定する必要があります）、ネストされたスタディの分散コンポーネントをJMPに計算させることです。
