JMP を使用してロット間、ウェーハ間、ウェーハ内変動を計算するにはどうすればよいですか?私の質問は、JMP を使用してロット間、ウェーハ間、ウェーハ内変動を計算し、均一性を定量化する方法を教えてください。
たとえば、テーブルが 1 つあり、このテーブルには列「ロット」、列「ウェーハ」、列「サイト」があり、データ列も 1 つ含まれています。
同じロット内には 15 個のウェーハがあり、同じウェーハ内には 20 サイトがあるため、問題は、JMP を使用してロット間、ウェーハ間、ウェーハ内変動を計算し、均一性を定量化する方法です。
ありがとう
高度な統計モデリングマスカスタマイゼーションRe: JMP を使用してロット間、ウェーハ間、ウェーハ内変動を計算するにはどうすればよいですか?ネストされた (または階層的な) サンプリング計画を説明しています。 サンプリング ツリーは次のようになります。
として@P_Bartel変動グラフでデータを確認することが良い最初のステップであると示唆しています。 「均一性」という言葉の意味が分かりません。 一貫性を理解するには、範囲グラフを使用できます。 サンプリング ツリーの一番下 (最小の有理サブグループ) から開始します。 これが安定している場合は、ツリーをロールアップして、次のレイヤーの変動性を評価します。
(一貫性を理解せずに) 分散成分を定量化したい場合は、データ型が公称であることを確認し、[分析] > [品質とプロセス] > [変動性/属性ゲージ] の順に選択し、[Y, 応答] ボックスに応答変数を入力します。 [X、グループ化] ボックスにツリーを上から下に入力します。 モデル タイプ ネストを選択します。 これにより、変動グラフが作成されます。 変動ゲージの横にある赤い三角形を選択し、[分散成分] を選択します。 これにより、ANOVA と分散成分が得られます。
Re: JMP を使用してロット間、ウェーハ間、ウェーハ内変動を計算するにはどうすればよいですか?変動チャートのような単純なものから始めたいと思うかもしれません...しかし、データには興味深い空間的特徴がいくつかあるかもしれません...ウェーハの品質評価/定量化/視覚化には常にあるようです。
このトピックに関するブログ、JMP Discovery Summit のプレゼンテーション、アドイン、その他のリソースが多数あります。JMP ユーザー コミュニティを検索すると、有用なリソースがいくつか見つかるはずです。 私の元同僚@MikeD_Anderson私は半導体データの視覚化について、私がこれまでに知ることのできなかったほど忘れています。 彼の名前を検索して、彼の貢献を見つけてみませんか?
