Comment utiliser JMP pour calculer Lot à Lot, Wafer à Wafer, dans la variation de wafer?Ma question est de savoir comment utiliser JMP pour calculer Lot à Lot, Wafer to Wafer, Dans la variation de wafer et quantifier l'uniformité?
par exemple, j'ai un tableau, dans ce tableau ont la colonne "lot", la colonne "wafer", la colonne "site", comprend également une colonne de données.
dans le même lot ont 15 wafers, dans la même wafer ont 20 sites, la question est donc de savoir comment utiliser JMP pour calculer lot à lot, wafer to wafer, within wafer variation et quantifier l'uniformité?
Merci
AnalytiqueScriptingRe: comment utiliser JMP pour calculer Lot à Lot, Wafer to Wafer, within wafer variation?Vous décrivez un plan d'échantillonnage imbriqué (ou hiérarchique). L'arbre d'échantillonnage pourrait ressembler à ceci:
Comme @P_Bartell suggère, examiner les données avec des graphiques de variabilité est une bonne première étape. Je ne sais pas ce que vous entendez par «uniformité»? Pour comprendre la cohérence, vous pouvez utiliser des graphiques de plage. Commencez au bas de l'arbre d'échantillonnage (le plus petit sous-groupe rationnel). Si cela est stable, enroulez l'arbre et évaluez la variabilité à la couche suivante.
Si vous souhaitez quantifier les composants de la variance (sans comprendre la cohérence), assurez-vous que les types de données sont nominaux, Analyser> Qualité et processus> Jauge de variabilité / attribut, entrez la variable de réponse dans la zone Y, Réponse. Entrez l'arborescence de haut en bas dans la zone X, Grouping. Choisissez le type de modèle imbriqué. Cela produira un graphique de variabilité. Sélectionnez le triangle rouge à côté de la jauge de variabilité, puis sélectionnez Composantes de variance. Cela vous donnera des composants ANOVA et de variance.
Re: comment utiliser JMP pour calculer Lot à Lot, Wafer to Wafer, within wafer variation?Vous voudrez peut-être commencer par quelque chose de simple comme un graphique de variabilité ... mais il peut y avoir des caractéristiques spatiales aux données qui sont intéressantes ... il semble qu'il y en ait toujours avec l'évaluation / quantification / visualisation de la qualité des plaquettes.
Il y a eu de nombreux blogs, présentations JMP Discovery Summit, compléments et autres ressources sur ce sujet ... une recherche dans la communauté d'utilisateurs JMP devrait fournir des ressources utiles. Mon ancien collègue @MikeD_Anderson a plus oublié la visualisation des données des semi-conducteurs que je ne le saurai jamais. Vous voudrez peut-être rechercher son nom pour trouver ses contributions?
