如何使用JMP計算批次間、晶圓間、晶圓內變異？我的問題是如何使用 JMP 計算批次間、晶圓間、晶圓內變異並量化均勻性？
例如，我有一張表，該表中有“lot”列，“wafer”列，“site”列，還包括一個數據列。
同一批次內有 15 個晶圓，同一晶圓內有 20 個站點，那麼問題是如何使用 JMP 計算批次間、晶圓間、晶圓內變異並量化均勻性？
謝謝
高級統計建模大規模定制回复：如何使用JMP計算批次間、晶圓間、晶圓內變異？您正在描述一個嵌套（或分層）抽樣計劃。 採樣樹可能看起來像這樣：
作為@P_巴特爾建議，使用變異性圖表查看數據是良好的第一步。 我不知道你所說的“統一”是什麼意思？ 要了解一致性，您可以使用範圍圖。 從採樣樹的底部開始（最小的有理子組）。 如果這是穩定的，則捲起樹並評估下一層的變異性。
如果要量化方差分量（不了解一致性），請確保數據類型是名義數據，分析 > 質量和過程 > 變異性/屬性量規，在 Y，響應框中輸入響應變量。 在“X”分組框中從上到下輸入樹。 選擇嵌套模型類型。 這將產生一個變異性圖表。 選擇變異量規旁邊的紅色三角形，然後選擇方差分量。 這將為您提供方差分析和方差分量。
回复：如何使用JMP計算批次間、晶圓間、晶圓內變異？您可能想從一些簡單的東西開始，比如變異性圖表……但是數據中可能有一些令人感興趣的空間特徵……似乎總是存在晶圓質量評估/量化/可視化。
有關此主題的博客、JMP Discovery Summit 演示文稿、插件和其他資源有很多...通過 JMP 用戶社區進行搜索應該會產生一些有用的資源。 我以前的同事@邁克D_安德森關於半導體數據可視化的遺忘比我所知道的還要多。 可能想搜索他的名字來查找他的貢獻？
