JMP를 사용하여 로트 대 로트, 웨이퍼 대 웨이퍼, 웨이퍼 변동 내에서 계산하는 방법은 무엇입니까?제 질문은 JMP를 사용하여 로트 대 로트, 웨이퍼 대 웨이퍼, 웨이퍼 내 변동을 계산하고 균일 성을 정량화하는 방법입니다.
예를 들어, 테이블이 하나 있고이 테이블에는 "lot"열, "wafer"열, "site"열이 있고 데이터 열도 하나 있습니다.
동일한 로트 내에 15 개의 웨이퍼가 있고, 동일한 웨이퍼 내에 20 개의 사이트가 있으므로 문제는 JMP를 사용하여 로트 간, 웨이퍼 간, 웨이퍼 내 편차를 계산하고 균일 성을 정량화하는 방법입니다.
감사
해석학스크립팅Re : JMP를 사용하여 Lot to Lot, Wafer to Wafer, 내 웨이퍼 변동을 계산하는 방법은 무엇입니까?중첩 된 (또는 계층 적) 샘플링 계획을 설명하고 있습니다. 샘플링 트리는 다음과 같습니다.
같이 뿡 빵뀨 가변성 차트로 데이터를 보는 것이 좋은 첫 번째 단계라고 제안합니다. "균일 성"이 무엇을 의미하는지 잘 모르겠습니까? 일관성을 이해하기 위해 범위 차트를 사용할 수 있습니다. 샘플링 트리의 맨 아래에서 시작합니다 (가장 작은 합리적 부분 군). 이것이 안정적인 경우 트리를 롤업하고 다음 계층에서 변동성을 평가합니다.
일관성을 이해하지 않고 분산 성분을 정량화하려면 데이터 유형이 명목인지 확인하고 분석> 품질 및 프로세스> 변동성 / 속성 게이지를 Y, 반응 상자에 입력합니다. X, 그룹화 상자에 위에서 아래로 트리를 입력합니다. 중첩 된 모델 유형을 선택합니다. 이렇게하면 변동성 차트가 생성됩니다. Variability Gauge 옆에있는 빨간색 삼각형을 선택한 다음 Variance Components를 선택합니다. 이렇게하면 ANOVA 및 분산 성분이 제공됩니다.
Re : JMP를 사용하여 Lot to Lot, Wafer to Wafer, 내 웨이퍼 변동을 계산하는 방법은 무엇입니까?가변성 차트와 같은 간단한 것으로 시작하고 싶을 수 있지만 관심있는 데이터에 대한 공간적 특징이있을 수 있습니다 ... 웨이퍼 품질 평가 / 정량화 / 시각화에 항상있는 것처럼 보입니다.
이 주제에 대한 많은 블로그, JMP Discovery Summit 프레젠테이션, 추가 기능 및 기타 리소스가 있습니다. JMP 사용자 커뮤니티를 검색하면 유용한 리소스를 얻을 수 있습니다. 내 전 동료 안녕하세요. 제가 아는 것보다 반도체 데이터 시각화에 대해 더 많이 잊었습니다. 그의 공헌을 찾기 위해 그의 이름을 검색하고 싶습니까?
