如何使用JMP计算批次间、晶圆间、晶圆内变异？我的问题是如何使用 JMP 计算批次间、晶圆间、晶圆内变异并量化均匀性？
例如，我有一张表，该表中有“lot”列，“wafer”列，“site”列，还包括一个数据列。
同一批次内有 15 个晶圆，同一晶圆内有 20 个站点，那么问题是如何使用 JMP 计算 Lot to Lot、Wafer to Wafer、Within Wafer 变异并量化均匀性？
谢谢
高级统计建模大规模定制回复：如何使用JMP计算批次间、晶圆间、晶圆内变异？您正在描述一个嵌套（或分层）抽样计划。 采样树可能看起来像这样：
作为@P_巴特尔建议，使用变异性图表查看数据是良好的第一步。 我不知道你所说的“统一”是什么意思？ 要了解一致性，您可以使用范围图。 从采样树的底部开始（最小的有理子组）。 如果这是稳定的，则卷起树并评估下一层的变异性。
如果要量化方差分量（不了解一致性），请确保数据类型是名义数据，分析 > 质量和过程 > 变异性/属性量规，在 Y，响应框中输入响应变量。 在“X”分组框中从上到下输入树。 选择嵌套模型类型。 这将产生一个变异性图表。 选择变异量规旁边的红色三角形，然后选择方差分量。 这将为您提供方差分析和方差分量。
回复：如何使用JMP计算批次间、晶圆间、晶圆内变异？您可能想从一些简单的东西开始，比如变异性图表……但是数据中可能有一些令人感兴趣的空间特征……似乎总是存在晶圆质量评估/量化/可视化。
有关此主题的博客、JMP Discovery Summit 演示文稿、插件和其他资源有很多...通过 JMP 用户社区进行搜索应该会产生一些有用的资源。 我以前的同事@迈克D_安德森关于半导体数据可视化的遗忘比我所知道的还要多。 可能想搜索他的名字来查找他的贡献？
