건식 식각 웨이퍼 공정을 위한 다중 반응 혼합물 실험의 설계 및 분석레벨: 중급
Don McCormack, JMP 기술 지원 엔지니어, SAS
건식 에칭 장비에 대한 설계된 실험은 반도체 엔지니어에게 과제를 제시합니다. 첫째, 총 가스 유량이 고정되는 경우가 많기 때문에 이러한 유형의 설계에 의해 부과되는 제약을 준수하기 위해 혼합물 설계를 사용해야 합니다. 이러한 유형의 설계는 반도체 산업에서 일반적으로 볼 수 없습니다. 둘째, 이러한 실험에서 자주 발생하는 것처럼 조사자는 둘 이상의 변수를 최적화하는 데 관심이 있습니다. 이 프레젠테이션에서는 건식 에칭 도구에 대한 7가지 요소 실험을 설계 및 분석하는 방법과 동시에 웨이퍼 가변성 내에서 최소화하면서 전체 웨이퍼 목표 값을 최적화하는 방법에 대한 예를 볼 수 있습니다.
개요
- 건식 식각 공정에 대한 8가지 요소 실험
- 세 가지 공정 가스: A, B, C
- 5가지 프로세스 요소: 전력, 압력, 온도, 시간, 총 유량
- 실험자는 기체 비율과 전체 기체 흐름 모두에 관심이 있었습니다. 총 흐름과 가스 비율을 가능한 한 상관관계가 없도록 유지하기 위해 혼합물 설계가 사용되었습니다.
- 총 흐름과 가스 비율을 가능한 한 상관관계가 없도록 유지하기 위해 혼합물 설계가 사용되었습니다.
- 또한 실험자는 상한 값과 하한 값 사이의 두 가스에 대한 비율을 제한하기를 원했습니다.
- 세 번째 가스인 C는 전체 혼합물의 10% 이상 25% 이하를 구성해야 했습니다.
혼합물 디자인이란 무엇입니까?
- 혼합물 설계는 둘 이상의 실험 요인의 합이 고정된 양이어야 하는 경우에 사용됩니다.
- 비혼합 성분(즉, 혼합물의 일부가 아닌 요소)을 포함하면 이 실험을 설계하기가 어렵습니다.
- 혼합물 설계는 요인 선별보다 예측을 강조합니다. 이러한 이유로 혼합 요인은 유의하지 않은 경우에도 실험에서 제거되지 않습니다(단, 0으로 설정될 수 있음).
혼합물 설계 과제
- 효과는 상관관계가 높고 추정하기 어렵습니다.
- 제곱 혼합 항은 혼합 요인 주효과 및 2요인 상호 작용과 교락(의 선형 함수임)됩니다.
- 비혼합 요인에 대한 주효과는 비혼합 요인과 혼합 요인 간의 두 가지 요인 상호작용과 상관관계가 있습니다.
- (매개변수 추정 및 유의성 대신) 예측 및 프로파일러 사용에 초점을 맞추면 혼합물 실험을 훨씬 쉽게 설계하고 해석할 수 있습니다.
실험적 반응
| 응답 |
목표 |
| 응급실 |
대상=100 |
| 응급실 표준 |
최소화 |
실험적 요인
| 응답 |
낮은 |
높은 |
| 힘 |
25 |
75 |
| 누르다 |
100 |
200 |
| 온도 |
25 |
40 |
| 시간 |
30 |
45 |
| 총 유량 |
80 |
120 |
| 가스 A |
0 |
1 |
| 기체 B |
0 |
1 |
| 가스 C |
0.1 |
0.25 |
실험적 제약
탈주암사슴동영상Re: 건식 식각 웨이퍼 공정을 위한 다중 반응 혼합물 실험의 설계 및 분석돈을 공유하는 것이 좋습니다. 정말 감사합니다 
