레벨 : 중급
Don McCormack, JMP 기술 지원 엔지니어, SAS
건식 식각 장비를 위해 설계된 실험은 반도체 엔지니어에게 과제를 제시합니다. 첫째, 총 가스 유속이 고정되어있는 경우가 많기 때문에 이러한 유형의 설계가 부과하는 제약 조건을 준수하기 위해 혼합물 설계를 사용해야합니다. 이러한 유형의 디자인은 반도체 산업에서 일반적으로 볼 수 없습니다. 둘째, 이러한 실험의 경우와 마찬가지로 조사자는 둘 이상의 변수를 최적화하는 데 관심이 있습니다. 이 프레젠테이션에서는 건식 식각 도구에 대한 7 단계 실험을 설계 및 분석하는 방법과 웨이퍼 변동성을 최소화하면서 동시에 전체 웨이퍼 목표 값을 최적화하는 방법의 예를 볼 수 있습니다.
개요
- 건식 식각 공정을위한 8 가지 요인 실험
- 세 가지 공정 가스 : A, B, C
- 5 가지 공정 요소 : 전력, 압력, 온도, 시간, 총 유량
- 실험자는 가스 비율과 전체 가스 흐름에 관심이있었습니다. 총 유량과 가스 비율을 가능한 한 상관 관계가 없도록 유지하기 위해 혼합물 설계가 사용되었습니다.
- 총 유량과 가스 비율을 가능한 한 상관 관계가 없도록 유지하기 위해 혼합물 설계가 사용되었습니다.
- 또한 실험자는 두 가스의 비율을 상한값과 하한값 사이에서 제한하고자했습니다.
- 세 번째 가스 인 C는 전체 혼합물의 10 % 이상 25 % 이하를 구성합니다.
혼합물 디자인이란 무엇입니까?
- 혼합물 설계는 둘 이상의 실험 요인의 양이 고정 된 양으로 합산되어야하는 경우에 사용됩니다.
- 비 혼합 성분 (즉, 혼합물의 일부가 아닌 요인)을 포함하면이 실험을 설계하기가 어렵습니다.
- 혼합물 설계는 요인 선별보다 예측을 강조합니다. 따라서 혼합 요인은 중요하지 않은 경우에도 실험에서 제거되지 않습니다 (그러나 0으로 설정 될 수 있음).
혼합물 설계 과제
- 효과는 상관 관계가 높고 추정하기가 더 어렵습니다.
- 제곱 혼합 항은 혼합 요인 주 효과 및 두 요인 상호 작용과 혼동됩니다 (의 선형 함수 임).
- 비 혼합 요인에 대한 주 효과는 해당 비 혼합 요인과 혼합 요인 간의 두 요인 상호 작용과 상관 관계가 있습니다.
- 매개 변수 추정 및 유의성 대신 프로파일 러의 예측 및 사용에 초점을 맞추면 혼합물 실험을 훨씬 쉽게 설계하고 해석 할 수 있습니다.
실험적 반응
| 응답 |
골 |
| ER |
목표 = 100 |
| ER Std |
최소화 |
실험적 요인
| 응답 |
낮은 |
높은 |
| 힘 |
25 |
75 |
| 프레스 |
100 |
200 |
| 온도 |
25 |
40 |
| 시각 |
30 |
45 |
| 총 흐름 |
80 |
120 |
| 가스 A |
0 |
1 |
| 가스 B |
0 |
1 |
| 가스 C |
0.1 |
0.25 |
실험적 제약
