Niveau : Intermédiaire
Don McCormack, ingénieur d'habilitation technique JMP, SAS
Les expériences conçues pour les équipements de gravure sèche présentent des défis pour les ingénieurs en semi-conducteurs. Premièrement, parce que le débit total de gaz est souvent fixe, une conception de mélange doit être utilisée pour respecter les contraintes imposées par ce type de conception. Ces types de conceptions ne sont pas couramment observés dans l'industrie des semi-conducteurs. Deuxièmement, comme c'est souvent le cas avec ces expériences, le chercheur est intéressé à optimiser plus d'une variable. Dans cette présentation, vous verrez un exemple de conception et d'analyse d'une expérience à sept facteurs pour un outil de gravure sèche et d'optimisation simultanée d'une valeur cible globale de tranche tout en minimisant la variabilité au sein de la tranche.
Aperçu
- Expérience à huit facteurs pour un procédé de gravure sèche
- Trois gaz de procédé : A, B, C
- Cinq facteurs de processus : puissance, pression, température, temps, débit total
- L'expérimentateur s'est intéressé à la fois aux rapports de gaz et au débit total de gaz. Pour maintenir le débit total et les rapports de gaz aussi non corrélés que possible, une conception de mélange a été utilisée.
- Pour maintenir le débit total et les rapports de gaz aussi non corrélés que possible, une conception de mélange a été utilisée.
- De plus, l'expérimentateur voulait borner le rapport pour deux des gaz entre une valeur supérieure et une valeur inférieure.
- Le troisième gaz, C, devait constituer pas moins de 10 % et pas plus de 25 % du mélange total.
Qu'est-ce qu'un Mixture Design ?
- Un plan de mélange est utilisé lorsque la quantité de deux facteurs expérimentaux ou plus doit totaliser une quantité fixe.
- L'inclusion de composants non mélangés (c'est-à-dire des facteurs qui ne font pas partie du mélange) rend la conception de cette expérience difficile.
- Les plans de mélange mettent l'accent sur la prédiction plutôt que sur le filtrage des facteurs. Pour cette raison, les facteurs de mélange ne sont pas supprimés de l'expérience même lorsqu'ils ne sont pas significatifs (ils peuvent cependant être définis sur 0).
Défis de conception de mélange
- Les effets sont fortement corrélés et sont plus difficiles à estimer.
- Les termes de mélange au carré sont confondus avec (sont une fonction linéaire des) effets principaux du facteur de mélange et les interactions à deux facteurs.
- Les effets principaux des facteurs de non-mélange sont corrélés avec les interactions des deux facteurs entre ce facteur de non-mélange et les facteurs de mélange.
- Se concentrer sur la prédiction et l'utilisation du profileur (au lieu de l'estimation et de la signification des paramètres) facilite grandement la conception et l'interprétation des expériences de mélange.
Réponses expérimentales
| Réponse |
But |
| Urgences |
Cible=100 |
| Norme ER |
Minimiser |
Facteurs expérimentaux
| Réponse |
Faible |
Haut |
| Pouvoir |
25 |
75 |
| Presse |
100 |
200 |
| Temp |
25 |
40 |
| temps |
30 |
45 |
| Débit total |
80 |
120 |
| Gaz A |
0 |
1 |
| Gaz B |
0 |
1 |
| Gaz C |
0,1 |
0,25 |
Contraintes expérimentales
C'est super de partager Don, merci beaucoup 
