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324039_ja-JP

liliconcom

カスタムデザインによる高速で信頼性の高いパターニング技術（2020-KR-30MP-724）

レベル：中級

전병구TL、SK하이닉스

이발표에서는パターンが에따라발생하는プロファイルを縮小상의문제들을해결할때、기존의개선방법대비DOE를활용해좀더빠르고、효율적으로개선하는과정을살펴봅니다。

起こる

DOE

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