La technique de création de motifs rapide et fiable avec un design personnalisé (2020-KR-30MP-724)Niveau: intermédiaire
전병구 TL, SK 하이닉스
이 발표 에서는 Pattern Shrink 에 따라 발생 하는 profile 상의 문제 들을 해결할 때, 기존 의 개선 방법 대비 DOE 를 활용 해 좀 더 빠르고, 효율적 으로 개선 하는 과정 을 살펴 봅니다.
ÉclaterBICHE
