레벨 : 중급
전병구 TL, SK 하이닉스
이 발표에서는 Pattern Shrink에 따라 발생하는 프로파일상의 문제들을 때, 기존의 개선 방법 DOE를 활용 해 좀 더 빨리, 그리고 많이 개선하는 과정을 살펴 봅니다.
