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查明並減少缺陷

 

請參閱如何：

• 將空間缺陷資料減少到幾個關鍵簇
• 將集群和孤立的缺陷與製造過程相關聯，以便為流程改進提供方向

 

請參閱如何：

• 透過從缺陷的 2D 視圖到 3D 視圖檢查多維缺陷
• 使用 Scatterplot 3D 直觀地探索 3D 視圖

資源

• 聚類視頻
• 多變量分析和聚類視頻
• 霍夫變換特徵提取技術背景
• 用於建立晶圓圖的 JMP 半導體工具套件插件
• 探索高峰會影片：所有晶圓圖都是錯誤的：半導體資料視覺化的冒險

品質和工藝工程