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欠陥の特定と削減

 

方法を参照してください:

• 空間的欠陥データを少数の主要なクラスターに縮小します
• クラスターと孤立した欠陥を製造プロセスに関連付けて、プロセス改善の方向性を与える

 

方法を参照してください:

• 欠陥の 2D ビューから 3D ビューに移動して多次元欠陥を検査します
• 散布図 3D を使用して 3D ビューを視覚的に探索する

リソース

• ビデオのクラスタリング
• 多変量解析とクラスタリングのビデオ
• ハフ変換特徴抽出技術の背景
• ウェーハマップ作成用のJMP Semiconductor Tool Kitアドイン
• Discovery Summit ビデオ: すべてのウェーハ マップは間違っています: 半導体データ視覚化の冒険

品質およびプロセスエンジニアリング