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欠陥の特定と削減

 

次の方法をご覧ください。

• 空間欠陥データをいくつかの主要なクラスターに減らす
• プロセス改善の方向性を示すために、クラスターと分離された欠陥を製造プロセスに関連付ける

 

次の方法をご覧ください。

• 欠陥の2Dビューから3Dビューに移動して、多次元欠陥を調査します
• Scatterplot 3Dを使用して3Dビューを視覚的に探索する

資源

• ビデオのクラスタリング
• 多変量解析とクラスタリングビデオ
• ハフ変換特徴抽出手法の背景
• ウェーハマップを作成するためのJMP Semiconductor Tool Kitアドイン
• ディスカバリーサミットビデオ：すべてのウェーハマップが間違っている：半導体データ視覚化の冒険

16〜30分6〜15分ベーシックJMPをマスターする