여보세요,
모델을 구성하는 더 쉬운 방법을 찾으려고합니다. 과거에는 4 차 다항식이 일반적으로 웨이퍼 표면의 매개 변수와 잘 일치한다는 것을 알게되었습니다. 내가하고 싶은 것은 X 및 Y 좌표에 따라 KLA i4 웨이퍼로 측정 한 온도에 대한 4 차 다항식을 찾는 것입니다. 이 모델에는 X 및 Y의 개별 및 혼합 (교차) 계수가 최대 4도 여야합니다. "Fit Model"에서 "Macro"기능을 사용할 때 혼합 용어를 얻지 못합니다 (다른 옵션도 시도했습니다).
"다항식"을 사용한 예 :
X_Coord
Y_Coord
X_Coord * X_Coord
Y_Coord * Y_Coord
X_Coord * X_Coord * X_Coord
Y_Coord * Y_Coord * Y_Coord
X_Coord * X_Coord * X_Coord * X_Coord
Y_Coord * Y_Coord * Y_Coord * Y_Coord
누락 된 것은 혼합 된 (교차 된) 용어입니다.
X_Coord * Y_Coord
X_Coord * X_Coord * Y_Coord
X_Coord * Y_Coord * Y_Coord
X_Coord * X_Coord * X_Coord * Y_Coord
X_Coord * X_Coord * Y_Coord * Y_Coord
X_Coord * Y_Coord * Y_Coord * Y_Coord
분명히 한 번에 하나씩 추가 할 수는 있지만 오류가 발생하기 쉽습니다.
이 작업을 수행하는 방법에 대한 제안 사항이 있습니까?
4 차 다항식과 3 차와의 상호 작용은 일반적이지 않으므로 데이터를 과적 합하지 않는다는 점에주의해야합니다. 그러나 이렇게하려면 최소한의 클릭만으로 너무 어렵지 않습니다.
이미 보셨 듯이 다항식을 매크로로 사용하여 4 차 다항식을 얻을 수 있습니다. 그런 다음 모든 X 효과를 3 차까지 선택한 다음 열 목록에서 Y 열을 선택한 다음 교차합니다. 마지막으로 모든 Y 효과를 최대 3 차까지 선택한 다음 열 목록에서 X 열을 선택한 다음 교차합니다.
원하는 모든 효과를 얻을 수 있습니다.
