Hallo,
Ich versuche einen einfacheren Weg zu finden, um mein Modell zu konstruieren. In der Vergangenheit habe ich gelernt, dass ein Polynom 4. Ordnung typischerweise gut mit Parametern auf einer Waferoberfläche übereinstimmt. Was ich tun möchte, ist das Polynom 4. Ordnung für eine Temperatur zu finden, die mit einem KLA i4-Wafer in Abhängigkeit von seinen X- und Y-Koordinaten gemessen wurde. Das Modell sollte individuelle und gemischte (gekreuzte) Faktoren von X und Y bis zum 4. Grad haben. Wenn ich die Funktion "Makro" in "Modell anpassen" verwende, werden die gemischten Begriffe nicht angezeigt (ich habe auch die anderen Optionen ausprobiert).
Beispiel für die Verwendung von "Polynom to Degree":
X_Coord
Y_Coord
X_Coord * X_Coord
Y_Coord * Y_Coord
X_Coord * X_Coord * X_Coord
Y_Coord * Y_Coord * Y_Coord
X_Coord * X_Coord * X_Coord * X_Coord
Y_Coord * Y_Coord * Y_Coord * Y_Coord
Was fehlt, sind die gemischten (gekreuzten) Begriffe:
X_Coord * Y_Coord
X_Coord * X_Coord * Y_Coord
X_Coord * Y_Coord * Y_Coord
X_Coord * X_Coord * X_Coord * Y_Coord
X_Coord * X_Coord * Y_Coord * Y_Coord
X_Coord * Y_Coord * Y_Coord * Y_Coord
Ich kann sie natürlich einzeln hinzufügen, aber das scheint fehleranfällig zu sein.
Irgendwelche Vorschläge, wie das geht?
Polynome vierter Ordnung und Interaktionen mit dritter Ordnung sind nicht üblich. Sie sollten daher darauf achten, dass Sie Ihre Daten nicht überanpassen. Wenn Sie dies jedoch tun möchten, ist dies mit einer minimalen Anzahl von Klicks nicht zu schwierig.
Wie Sie bereits gesehen haben, können Sie das Makro Polynom zu Grad verwenden, um zu Polynomen vierter Ordnung zu gelangen. Wählen Sie dann alle X-Effekte bis zur dritten Ordnung und dann die Y-Spalte in der Spaltenliste und dann Kreuz. Wählen Sie schließlich alle Y-Effekte bis zur dritten Ordnung und dann die X-Spalte in der Spaltenliste und dann Kreuz aus.
Dadurch erhalten Sie alle gewünschten Effekte.
