拟合模型 - “多项式到度数”问题你好，
我正在尝试找到一种更简单的方法来构建我的模型。 过去，我了解到四阶多项式通常与晶圆表面的参数非常吻合。 我想做的是根据 X 坐标和 Y 坐标找到使用 KLA i4 晶圆测量的温度的四阶多项式。 该模型应具有 X 和 Y 的单个和混合（交叉）因子，最高可达 4 次。 当我在“拟合模型”中使用“宏”功能时，我没有得到混合项（我也尝试了其他选项）。
使用“多项式度数”的示例：
X_坐标
Y_坐标
X_坐标*X_坐标
Y_坐标*Y_坐标
X_坐标*X_坐标*X_坐标
Y_坐标*Y_坐标*Y_坐标
X_坐标*X_坐标*X_坐标*X_坐标
Y_坐标*Y_坐标*Y_坐标*Y_坐标
缺少的是混合（交叉）术语：
X_坐标*Y_坐标
X_坐标*X_坐标*Y_坐标
X_坐标*Y_坐标*Y_坐标
X_坐标*X_坐标*X_坐标*Y_坐标
X_坐标*X_坐标*Y_坐标*Y_坐标
X_坐标*Y_坐标*Y_坐标*Y_坐标
我显然可以一次添加一个，但这似乎很容易出错。
有关如何执行此操作的任何建议？
回复：拟合模型 - “多项式度数”问题四阶多项式和与三阶的相互作用并不常见，因此您应该谨慎使用，不要过度拟合您的数据，但如果您想这样做，只需点击最少的次数就不会太难。
正如您已经看到的，您可以使用 Polynomial to Degree 宏来获得四阶多项式。 然后选择所有三阶 X 效应，然后选择列列表中的 Y 列，然后选择交叉。 最后选择所有高达三阶的 Y 效应，然后选择列列表中的 X 列，然后选择交叉。
这将获得您正在寻找的所有效果。
