擬合模型 - “多項式到度數”問題你好，
我正在嘗試找到一種更簡單的方法來構建我的模型。 過去，我了解到四階多項式通常與晶圓表面的參數非常吻合。 我想做的是根據 X 坐標和 Y 坐標找到使用 KLA i4 晶圓測量的溫度的四階多項式。 該模型應具有 X 和 Y 的單個和混合（交叉）因子，最高可達 4 次。 當我在“擬合模型”中使用“宏”功能時，我沒有得到混合項（我也嘗試了其他選項）。
使用“多項式度數”的示例：
X_坐標
Y_坐標
X_坐標*X_坐標
Y_坐標*Y_坐標
X_坐標*X_坐標*X_坐標
Y_坐標*Y_坐標*Y_坐標
X_坐標*X_坐標*X_坐標*X_坐標
Y_坐標*Y_坐標*Y_坐標*Y_坐標
缺少的是混合（交叉）術語：
X_坐標*Y_坐標
X_坐標*X_坐標*Y_坐標
X_坐標*Y_坐標*Y_坐標
X_坐標*X_坐標*X_坐標*Y_坐標
X_坐標*X_坐標*Y_坐標*Y_坐標
X_坐標*Y_坐標*Y_坐標*Y_坐標
我顯然可以一次添加一個，但這似乎很容易出錯。
有關如何執行此操作的任何建議？
回复：擬合模型 - “多項式度數”問題四階多項式和與三階的相互作用並不常見，因此您應該謹慎使用，不要過度擬合您的數據，但如果您想這樣做，只需點擊最少的次數就不會太難。
正如您已經看到的，您可以使用 Polynomial to Degree 宏來獲得四階多項式。 然後選擇所有三階 X 效應，然後選擇列列表中的 Y 列，然後選擇交叉。 最後選擇所有高達三階的 Y 效應，然後選擇列列表中的 X 列，然後選擇交叉。
這將獲得您正在尋找的所有效果。
