产量、统计数据和 JMP 产量 JMP:用于提高产量的统计工具...良率、统计数据和 JMP 良率 JMP:用于提高半导体行业良率的统计工具
Francois Bereget,Ippon Innovation;亚历山大·库尔瓦特,Soitec
半导体是一个非常复杂的行业,涉及数百个操作(工艺阶段)和数百个参数,产品对小至 0.1 微米的颗粒敏感,并且正在使用前沿技术。 SOITEC 正在制造基于 SOI(绝缘体上硅)技术的衬底晶圆,为主要芯片制造商提供低消耗和高性能的原材料。 在大批量晶圆厂中,客户对质量的要求非常高,新的工艺控制工具是必要的,以便快速检测任何有缺陷的工艺工具,并找到与某些工艺阶段相关的复杂良率问题的根本原因,但不依赖于工具。 良率工程师的关键要求是具有两个特征的统计工具:足够自动化,可以快速突出一组非常有限的工艺参数(数百个),这些参数会导致良率损失;交互性足够,能够在考虑“工程”的情况下调整分析知识”。 选择 JMP 软件有 3 个原因:它使用适应半导体复杂性的先进统计方法,非常用户友好,所有工程师都可以轻松执行附加统计,它包括强大的编程语言 JSL,用于开发数千个自动分析输入和输出参数。
JSL