재 : PHE (Process History Explorer)프로세스 스크리닝은 쉽게 모델링 할 수있는 명확한 대형 상호 작용을위한 것입니다. 프로세스 선별은 후드 아래의 부트 스트랩 포레스트이므로 그렇게 생각하십시오.
프로세스 히스토리 탐색기가 요청되었습니다. 몇 년 전 반도체 회사는 부품이 여러 번 공구를 통과하는 과정에서 공구의 목표를 약간 벗어난 것과 같이 작은 문제를 해결하기 위해 몇 년 전부터 개별적으로 프로세스 실행이 규정을 준수하지 않을 수 있습니다. 그러나 누적 적으로이 효과로 인해 파트가 결국 준수에서 벗어날 수 있습니다. 이러한 종류의 정보를 얻기 위해 부품이 공장을 통과하는 경로를 고려해야하므로 다른 도구를 사용하여 분석을 수행하기 전에 데이터 세트를 상당히 보강해야합니다.
희망이 도움이됩니다!
PHE (프로세스 히스토리 탐색기)안녕 모두
PHE가 복잡한 프로세스 이력에서 문제 구성 요소를 식별 할 수 있다고 책에 썼습니다.
그럼에도 불구하고 우리는 이 기능의 장점과 사용법을 이해하거나 설명하기 쉽지 않습니다.
프로세스 스크리닝과 같은 다른 기능과 비교할 때
당신의 아이디어와 경험을 알려주세요
'프로세스 스크리닝'과 비교 한 이점
통계 세부 사항 및 분석 알고리즘
응용 사례 등
감사
커뮤니티에는 하나의 질문과 답변이 있습니다. 누구나 프로세스 히스토리 탐색기를 사용해 보셨습니까? 유용합니까?
재 : PHE (Process History Explorer)큰 상호 작용 대 작은 상호 작용.
실제 적용이 있으면 알려주세요.
고마워, 마이크
재 : PHE (Process History Explorer)나는 이것에 대한 데이터 세트를 모른다. 매우 민감한 공정 데이터이며 반도체는 NDA에서도 공유 할 가능성이 없습니다. 개발자는 작업하는 동안 데이터 세트를 사용할 수 있도록 팹을 시뮬레이션해야했습니다. 리소그래피 단계에서 마스크의 작은 오정렬이 떠오를 것입니다. 개별적으로는 소집자를 통과 할 수 있지만 누적 적으로 수율 손실을 초래할 수 있습니다.
커뮤니티에서 Georgia (gzmorgan0)에 연락 할 수 있습니다. 그녀가 블로그 게시물을 작성하는 것 같습니다. https://community.jmp.com/t5/Discussions/Has-anyone-tried-out-process-history-explorer-Is-it-useful/td-p/248186
그녀는 다른 예를 통해 당신을 도울 수 있습니다.
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