Re：PHE（プロセス履歴エクスプローラー）プロセススクリーニングは、明確で大きな相互作用-簡単にモデル化できるもの-のためのものです。 プロセススクリーニングは内部ではBootstrap Forestです。そのように考えてください。
プロセス履歴エクスプローラが要求されました。半導体会社が数年前に追加された小さな問題の問題を処理するために-部品がツールを数回通過するプロセスでツールがわずかに対象から外れるようなものです。 個別に、プロセスの実行がコンプライアンスに違反していない可能性があります。しかし、累積的に、その影響により部品は最終的にコンプライアンスから外れます。 この種の情報を取得するには、部品がプラントを通過するルートを考慮する必要があるため、他のツールで分析を行う前に、データセットをかなり充実させる必要があります。
お役に立てば幸いです。
PHE（プロセス履歴エクスプローラー）こんにちは、みんな、
本には、PHEが複雑なプロセス履歴の問題のコンポーネントを特定できることが書いてあります。
それにもかかわらず、私たちはこの機能の利点と使用法を簡単に理解または説明する
他の機能、すなわちプロセススクリーニングと比較して。
あなたのアイデアや経験があれば教えてください
-「プロセススクリーニング」と比較した場合の利点
-統計の詳細と分析アルゴリズム
-アプリケーションケースなど
ありがとう
コミュニティには1つの質問と回答があります。 プロセス履歴エクスプローラーを試した人はいますか？役に立ちましたか？
Re：PHE（プロセス履歴エクスプローラー）大きな相互作用と小さな相互作用。
実用的なアプリケーションがある場合はお知らせください。
ありがとう、マイク
Re：PHE（プロセス履歴エクスプローラー）このためのデータセットは知りません。 これは非常に機密性の高いプロセスデータであり、セミコンダクターは、NDAのもとでさえ、共有する可能性はほとんどありません。 開発者は、作業中にデータセットを操作するためにファブをシミュレートする必要がありました。 頭に浮かぶ例は、リソグラフィー工程でのマスクの小さなずれです。 個人的には、合格する可能性がありますが、累積すると、歩留まりが低下する可能性があります。
コミュニティのジョージア（gzmorgan0）に連絡することができます。 彼女はそれについてブログ投稿を書いているようです： https://community.jmp.com/t5/Discussions/Has-anyone-tried-out-process-history-explorer-Is-it-useful/td-p/248186
彼女は他のいくつかの例であなたを助けることができるかもしれません。
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