Ri: PHE (Process History Explorer)Lo screening del processo è più per chiare interazioni estese - cose che possono essere facilmente modellate. Lo screening del processo è Bootstrap Forest sotto il cofano, quindi pensaci in quel modo.
Process History Explorer è stato richiesto. da parte della società di semiconduttori qualche anno fa per gestire il problema dei piccoli problemi che si sommano, come uno strumento che è leggermente fuori bersaglio in un processo in cui una parte passa attraverso lo strumento più volte. Individualmente, il processo eseguito potrebbe non essere non conforme. Ma, cumulativamente, l'effetto farà sì che la parte alla fine si allontani dalla conformità. Dal momento che è necessario considerare il percorso che una parte percorre attraverso un impianto per ottenere questo tipo di informazioni, è necessario arricchire un po 'il set di dati prima di poter eseguire l'analisi con altri strumenti.
Spero che aiuti!
PHE (Process History Explorer)Ciao a tutti,
È scritto nei libri che PHE è in grado di identificare i componenti del problema in storie di processo complesse.
Tuttavia, non siamo t facile da capire o spiegare i vantaggi e l'utilizzo di questa funzione
rispetto ad altre funzionalità, ad es. screening del processo.
Fammi sapere le tue idee e la tua esperienza, se ne hai
-Vantaggi rispetto allo "screening dei processi"
-statistiche statistiche e algoritmo di analisi
caso di domanda ecc
Grazie
C'è una domanda e una risposta nella comunità. Qualcuno ha provato l'esploratore della cronologia dei processi? È utile?
Ri: PHE (Process History Explorer)grande interazione vs piccola interazione.
Fammi sapere se hai qualche applicazione pratica.
Grazie Mike
Ri: PHE (Process History Explorer)Non conosco un set di dati per questo. Sono dati di processo piuttosto sensibili e il semicon non è probabile che condividano alcuno, anche sotto NDA. Gli sviluppatori hanno dovuto simulare un fab per ottenere un set di dati con cui giocare mentre ci stavano lavorando. Un esempio che viene in mente sarebbe piccoli disallineamenti nelle maschere nella fase litografica. Individualmente, potrebbero passare in rassegna, ma cumulativamente potrebbero causare perdite di rendimento.
potresti raggiungere la Georgia (gzmorgan0) nella comunità. Sembra che stia scrivendo un post sul blog al riguardo: https://community.jmp.com/t5/Discussions/Has-anyone-tried-out-process-history-explorer-Is-it-useful/td-p/248186
Potrebbe essere in grado di aiutarti con altri esempi.
M
