半导体大批量制造中的生产线控制 (2020-EU-45MP-472)级别:中级
SOITEC 数据管理工程师 Bugnon Guillaume
Baptiste Follet,Soitec 产量工程师
Stephane Astie,SOITEC 收益经理
半导体公司在制造成本和质量方面不断受到挑战。 有效的良率管理系统是检测线漂移和最大限度减少废品以降低晶圆成本和质量影响的关键。 自 2007 年以来,JMP 通过提供易于使用的工具来可视化设备数据与产品产量数据,帮助 Soitec 提高产量。 2010 年开发了用于执行一组适应响应分布性质(正态、非正态、二进制)的统计测试的方法,供收益团队找出问题的根本原因(Yield Guard 专用 JMP/JSL 应用程序) . 在多种产品和完整的晶圆厂环境中,数据质量和实时分析对于准确确定漂移根本原因至关重要。 IT 和产量团队之间的敏捷协作使我们能够开发一种自动化工具来实现这些目标,从而控制我们的生产线。 我们将很自豪地介绍我们从数据收集到数据分析的方法。 演示将使用 JMP 和 JSL 代码以交互方式完成。
爆发数据探索数据可视化