Niveau: Mittelstufe
Bugnon Guillaume, Datenmanagement-Ingenieur, SOITEC
Baptiste Follet, Ertragsingenieur, Soitec
Stephane Astie, Ertragsmanager, SOITEC
Halbleiterunternehmen werden hinsichtlich der Herstellungskosten und -qualität ständig herausgefordert. Ein effektives Yield-Management-System ist der Schlüssel zur Erkennung von Linienabweichungen und zur Minimierung von Ausschuss, um die Waferkosten und Auswirkungen auf die Qualität zu reduzieren. JMP unterstützt Soitec seit 2007 dabei, den Ertrag zu verbessern, indem es ein benutzerfreundliches Tool zur Visualisierung von Gerätedaten im Vergleich zu Produktertragsdaten bereitstellt. Methoden zur Durchführung einer Reihe von statistischen Tests, die an die Art der Antwortverteilung (normal, nicht normal, binär) angepasst sind, wurden 2010 entwickelt, damit das Ertragsteam die Grundursache des Problems finden kann (dedizierte Yield Guard-JMP/JSL-Anwendung). . In mehreren Produkten und einer vollständigen Fabrikumgebung sind Datenqualität und Echtzeitanalyse entscheidend für die genaue Bestimmung der Driftursache. Die agile Zusammenarbeit zwischen IT- und Yield-Teams ermöglicht es uns, ein automatisches Tool zu entwickeln, um diese Ziele zu erreichen und unsere Produktionslinie zu steuern. Gerne stellen wir Ihnen unsere Methodik von der Datenerhebung bis zur Datenanalyse vor. Die Präsentation erfolgt interaktiv mit JMP- und JSL-Codes.