JMP® 统计分析工具在过程表征中的应用<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />作者
Pradipta Kumar Das，美敦力工艺开发工程师
本文讨论了 JMP 中可用工具的应用，以规划、执行和分析两个连续过程的组合过程表征。 上游和下游过程之间的影响的历史知识和假设被用于实验计划、执行和数据分析。 所研究的五个实验因素包括一个难以改变的因素 (F1) 和四个其他因素（F2 到 F5），贯穿所研究的过程。 选择了具有主效应、二次、三因素交互作用模型的自定义实验裂区设计，目的是跨过程步骤 A、B 和 C 执行误差传播分析。 预测方差、设计空间分数和功效分析导致 DOE 由 12 次独特运行的 F2-F5 组合组成，用于五个完整 F1 图中的每一个，总共 60 次实验运行。 分析了过程 B 和 C 中的八个响应。 数据分析包括使用 Graph Builder、Distribution Analysis 和 Fit Y by X 检查数据完整性。 然后使用迭代项减少的拟合模型来创建模型。 缺陷率的优化是使用分析器和模拟器工具进行的。 最后，使用残差按行图评估运行内和运行间的变异。
实验设计
