快速热处理DOE和模拟<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />快速热处理DOE和模拟
杰夫赫伯特 jeffrey.hebert
德州仪器
在对复杂的RTP交互进行建模后，我们得出结论，当前系统是次优的，工具内部反馈是有效的，外部反馈回路是问题所在。 因此，我们不需要完全改变系统，但可以微调反馈回路。 我们克服了使用和交流模型的挑战，融合在一个可操作的模型上，该模型考虑了所使用的处理设备的特性。
实验设计
