如何生成厚度与薄层电阻的相关性<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />我从机器A1和机器A2获得了50个晶圆的50个厚度数据点。我们假设25 /机器。
我在上面使用的相同的50个晶圆上有50个薄层电阻数据点，但是在机器B1和B2上。我们暂时假设为了简单起见，A1上的晶圆测量值是在B1和A2上测量的。
分析这些数据以获得厚度和薄层电阻之间相关性的最佳方法是什么？简单y乘x /任何其他方法考虑到这两个不同工具集（A / B）的灵敏度，以便我有更精确的分辨率？
提前致谢
阿努拉格
Re：如何生成厚度与薄层电阻的相关性我认为答案很大程度上取决于你想要完成什么（将使用什么结果），以及如何收集数据的细节。
看看你的“简单”情况（机器A1和B1），我假设你能够确定哪个晶圆是哪个。您提到每个晶圆有50个厚度测量值和50个电阻率测量值。重要的考虑因素是两个测量是否都在晶圆上的同一物理位置（同一地点）进行，以及您是否可以识别和记录哪个地点是哪个。如果是这样，那么我将简单地从电阻率与厚度的散点图开始，并使用颜色，标记和局部数据滤波器来寻找晶圆内和晶圆之间的变化模式。您所看到的内容将帮助您确定可能需要哪种形式的分析。
