DOE Help：実験中の変化しにくい要因のドリフト[初心者]
私は気温が変わりにくい要因であるDOEを運営しています。シナリオはホットプレートで、その上にサンプルが置かれていて、高出力プラズマの影響を受けます。試料とホットプレートとの間の熱伝導率は一定ではなく、プロセスチャンバ圧力の関数である。通常、私はプロセスを開始する前に、圧力に関係なく温度が平衡するのに十分な「予熱」時間を許容することによってこれに対処します。唯一の温度センサーはホットプレートコントロールTCです（すなわち、サンプルの実際の温度を測定することはできません）。
プロセス（高出力プラズマ）を開始すると、サンプル（およびホットプレート）の温度が上昇する傾向があり、実行中に温度ドリフトが発生します。しかしながら、ホットプレート温度センサが温度上昇を拾うことを可能にするのに十分なガス圧（したがって、十分なサンプル対ホットプレート間熱伝導率）があるときにのみ、ドリフトが検出されると私は思う。
DOEにおけるこの複雑な制限に対処できるかどうか、またはその対処方法に関するアイデアはありますか？前もって感謝します！
再：DOEヘルプ：実験中に変化しにくい要因のドリフト因子設定を通常どおりに使用しますが、実行中の温度を測定し、回帰分析を実行する前にデータテーブルの温度値を更新します。Whole Plot変数は、ホットプレートを介して温度を再設定することによるランダム効果を追跡し、測定された温度レベルは温度変化の固定効果を追跡します。
再：DOEヘルプ：実験中に変化しにくい要因のドリフト返信いただきありがとうございます.. 測定された温度に対する圧力係数の交絡効果を説明する方法はありますか（つまり、ホットプレートTCとサンプルの間に十分な熱伝導がある場合にのみ温度上昇が捕捉される）。
再：DOEヘルプ：実験中に変化しにくい要因のドリフト私はあなたの質問を理解したと思います。言い換えると、温度の影響は他の要因である圧力のレベルに依存するかもしれません。それが仮説である場合は、回帰モデルの線形予測子に交差項（Temperature * Pressure）を追加します。応答に対するそのような影響は、相互作用として知られています。モデルの各項は、モデル全体に加えてテストされます。
