DOE幫助:在實驗過程中難以改變因子漂移[新手用戶]
我正在運行DOE,溫度是一個難以改變的因素。這種情況是一個熱板,樣品就在其上,並被高功率等離子體擊中。樣品和熱板之間的熱傳導不是恆定的,並且是處理室壓力的函數。通常情況下,我在開始這個過程之前,通過允許足夠的“預熱”時間使溫度平衡而不管壓力來解決這個問題。唯一的溫度傳感器是熱板控制TC(即無法測量樣品的實際溫度)。
一旦我啟動該過程(高功率等離子體),它往往會升高樣品(和熱板)的溫度,導致運行期間溫度漂移。但是,我懷疑只有在有足夠的氣體壓力(因此足夠的樣品 - 熱板熱導率)才能檢測到漂移,以使熱板溫度傳感器能夠吸收溫度升高。
關於我是否或如何處理我的DOE中這種複雜限制的任何想法?提前致謝!
回复:DOE幫助:在實驗過程中難以改變因子漂移像往常一樣使用係數設置,但在運行期間測量溫度並在執行回歸分析之前更新數據表中的溫度值。Whole Plot變量將跟踪通過熱板重新設定溫度的隨機效應,測量的溫度水平將跟踪溫度變化的固定效應。
回复:DOE幫助:在實驗過程中難以改變因子漂移謝謝回复.. 是否有任何方法可以解釋壓力係數對測量溫度的混淆影響(也就是說,只有在熱板TC和样品之間有足夠的熱傳導時才能獲得溫升)?
回复:DOE幫助:在實驗過程中難以改變因子漂移我想我理解你的問題。讓我重申一下:溫度的影響可能取決於另一個因素壓力的水平。如果這是您的假設,則在回歸模型中將線性預測因子添加到交叉項中,即溫度*壓力。這種對響應的影響稱為交互。除了整個模型之外,還測試了模型的每個項。