DOE Help: Schwer zu ändernder Faktor driftet während des Experiments[Neuling]
Ich führe ein DOE durch, bei dem die Temperatur ein schwer zu ändernder Faktor ist. Das Szenario ist eine Heizplatte, auf der die Probe sitzt und von einem Hochleistungsplasma getroffen wird. Der Wärmeleitwert zwischen Probe und Heizplatte ist nicht konstant und hängt vom Druck in der Prozesskammer ab. Normalerweise bewältige ich dies, indem ich eine ausreichende Vorheizzeit einstelle, damit sich die Temperatur unabhängig vom Druck angleicht, bevor ich den Prozess beginne. Der einzige Temperatursensor ist die Heizplattensteuerung TC (dh die tatsächliche Probentemperatur kann nicht gemessen werden).
Sobald ich den Prozess starte (ein Hochleistungsplasma), neigt es dazu, die Temperatur der Probe (und der Heizplatte) zu erhöhen und während des Laufs eine Temperaturdrift zu verursachen. Ich vermute jedoch, dass die Drift nur erfasst wird, wenn ein ausreichender Gasdruck (und damit eine ausreichende Wärmeleitfähigkeit von Probe zu Heizplatte) vorliegt, damit der Heizplattentemperatursensor den Temperaturanstieg erfassen kann.
Irgendwelche Ideen, ob oder wie ich mit dieser komplizierten Einschränkung in meinem DOE umgehen kann? Danke im Voraus!
Betreff: DOE Help: Schwer zu ändernder Faktor driftet während des ExperimentsVerwenden Sie die Faktoreinstellungen wie gewohnt, messen Sie jedoch die Temperatur während des Laufs und aktualisieren Sie den Temperaturwert in der Datentabelle, bevor Sie Ihre Regressionsanalyse durchführen. Die Variable Whole Plot verfolgt den zufälligen Effekt des Zurücksetzens der Temperatur über die Heizplatte, und das gemessene Temperaturniveau verfolgt den festen Effekt von Temperaturänderungen.
Betreff: DOE Help: Schwer zu ändernder Faktor driftet während des ExperimentsDanke für die Antwort.. Gibt es eine Möglichkeit, den störenden Einfluss des Druckfaktors auf die gemessene Temperatur zu erklären (dh der Temperaturanstieg wird möglicherweise nur erfasst, wenn zwischen der Heizplatte TC und der Probe eine ausreichende Wärmeleitfähigkeit besteht)?
Betreff: DOE Help: Schwer zu ändernder Faktor driftet während des ExperimentsIch glaube, ich verstehe deine Frage. Lassen Sie es mich noch einmal wiederholen: Die Auswirkung der Temperatur kann von der Höhe eines anderen Faktors abhängen, nämlich dem Druck. Wenn dies Ihre Hypothese ist, fügen Sie dem linearen Prädiktor in Ihrem Regressionsmodell Temperatur * Druck einen Kreuzterm hinzu. Ein solcher Effekt auf die Reaktion ist als Wechselwirkung bekannt. Jeder Begriff des Modells wird zusätzlich zum gesamten Modell getestet.
