DOE Help : 실험 도중 변화하기 어려운 요인이 드리프트 됨[초보 사용자]
나는 온도가 변화하기 어려운 곳에서 교육청을 운영하고 있습니다. 이 시나리오는 샘플이 앉아 고출력 플라즈마에 부딪히는 핫 플레이트입니다. 샘플과 핫 플레이트 사이의 열 컨덕턴스는 일정하지 않으며 프로세스 챔버 압력의 함수입니다. 일반적으로 프로세스를 시작하기 전에 온도가 압력에 관계없이 평형을 유지할 수 있도록 충분한 "예열"시간을 허용함으로써이 문제를 해결합니다. 유일한 온도 센서는 핫 플레이트 컨트롤 TC입니다 (즉, 샘플의 실제 온도를 측정 할 수 없음).
일단 프로세스 (고전력 플라즈마)를 시작하면 샘플 (및 핫 플레이트)의 온도를 상승시켜 실행 중에 온도 드리프트가 발생하는 경향이 있습니다. 그러나, 핫 플레이트 온도 센서가 온도 상승을 감지 할 수 있도록 충분한 가스 압력 (따라서 충분한 샘플 - 열판 열 컨덕턴스)이있는 경우에만 드리프트가 감지되는 것으로 생각됩니다.
DOE의 복잡한 제한 사항을 어떻게 처리 할 수 있는지 또는 어떻게 처리 할 수 있는지에 대한 아이디어가 있습니까? 미리 감사드립니다.
Re : DOE Help : 실험 도중 변화하기 어려운 요인이 드리프트 됨평소와 같이 요인 설정을 사용하고 실행 중 온도를 측정하고 회귀 분석을 수행하기 전에 데이터 표의 온도 값을 업데이트하십시오. Whole Plot 변수는 핫 플레이트를 통해 온도를 다시 설정하는 임의의 효과를 추적하며 측정 된 온도 수준은 고정 된 온도 변화의 영향을 추적합니다.
Re : DOE Help : 실험 도중 변화하기 어려운 요인이 드리프트 됨답장을 보내 주셔서 감사합니다.. 측정 된 온도에 대한 압력 인자의 교란 효과를 설명하는 방법은 무엇이든 (즉, 온도 상승은 핫 플레이트 TC와 샘플 사이에 충분한 열전도도가있는 경우에만 캡처됩니다)?
Re : DOE Help : 실험 도중 변화하기 어려운 요인이 드리프트 됨나는 당신의 질문을 이해한다고 생각합니다. 다시 말해 보겠습니다. 온도의 영향은 다른 요인 인 압력의 수준에 따라 달라질 수 있습니다. 그게 당신의 가설이라면, 회귀 모형의 선형 예측기 인 Temperature * Pressure에 교차 항을 더하십시오. 이러한 반응에 대한 영향을 상호 작용이라고합니다. 모델의 각 용어는 전체 모델에 추가로 테스트됩니다.
