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使用 NChooseK 矩阵 JSL 函数对所有组合进行计量站点缩减分析

丹尼尔·萨顿 (Daniel Sutton)，三星半导体公司，德克萨斯州奥斯汀

半导体晶圆的计量对于了解工艺目标和变化来源是必不可少的。对于新设备的引入和初始批量生产，晶圆计量可能使用大量站点来建立目标、设置 APC（自动过程控制）并确定晶圆上的变化来源。然而，持续的生产计量通常被视为非增值。随着制造量的增加和工艺的成熟，出现了一个问题：与站点数量相比，持续计量的目的是什么？是否可以减少站点数量以提高计量的产量？过去，可能根据当前地图移除站点，减少其他生产的站点，并使用当前站点数据分析新地图的影响。利用内置的 JSL 函数NChooseK矩阵(n,k ) （可生成从 N 个站点中选择 K 个站点的所有可能组合）和预测分析器，创建了 JMP 脚本，可以快速分析和权衡不同 K 的所有组合，并允许用户根据各种要求选择最佳的简化站点地图。将显示不同场景的示例。