MSA：用于计算％GR＆R的西格玛？<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />我有一个MSA问题，我相信你可以帮助我，这似乎是一个简单的问题，但出于某种原因，我已经说服自己，我很困惑。我们在这里运行MSA，其中模型是Y = Day + Load [Day] + Site * Load [Day] + Repeat [Site，Load，Day]，测量的响应是氧化物厚度。这是3天，每天3次装载，9次装载/装载，5次重复/现场;一个晶片用于MSA。我们确实有这个过程的SPC图表和大量的历史数据，它是一张Xbar-S图表（Xbar的晶圆平均值是从每个晶圆的9个测量位置计算得出的;每个工艺运行测量的1个晶圆）。使用可变性平台，我们计算％GR＆R作为过程的百分比，当提示输入历史sigma时，我开始质疑我应该使用哪个sigma。我一直在输入从这个过程的历史数据的晶圆平均值计算的历史西格玛......但这次我质疑我是否应该使用历史数据（即原始数据）计算的历史西格玛。晶圆级别和站点级别计算之间的sigma有2倍的差异（站点级别数据的sigma比您想象的高2倍）。在这种情况下哪一个更适合的输入？既然我们应该使用从晶圆装置或现场级数据计算的西格玛来制作晶圆装置吗？提前致谢。
回复：MSA：用于计算％GR＆R的西格玛？我会尝试回答我自己的问题，因为我相信我有答案。 希望这将有助于将来可能有同样问题的其他人。答案的简短版本是我应该使用从历史个别站点测量计算出的sigma。现在很长版本....我不是在我的SPC图表中测量晶圆装置，我正在测量各个站点并从这些单独的站点级别测量中计算Xbar和Std Dev。 我的流程变化不是均值的变化，而是各个站点的变化。希望这是有道理的。 随意加入输入。
