如何处理与时间有关的因素如何处理与时间有关的因素
我正在半导体环境中设计一个实验。简而言之：用于制造硅晶片的工具（CMP-化学机械抛光）的性能（即蚀刻材料）很大程度上取决于某些消耗部件的寿命 - 即载体和垫。这些部件相互独立地消耗，一旦达到目标寿命，它们就会被替换掉。不幸的是，我们认为，与制造这些部件的每个样品有关的一些其他因素而不仅仅是寿命会影响CMP的性能，使得具有相同寿命的两个物理上不同的载体可以对响应具有不同的影响。
该研究的目的是将CMP的性能与这些部件的寿命联系起来（这将非常容易），但要考虑到零件之间构造差异的随机变化。主要的挑战是给定部分的寿命只能随着时间而增加，因此不可能完全随机化。解释：我不能用新鲜的载体执行初始运行，在生命周期结束时使用相同的载体执行其他运行并使用新鲜载体完成实验！另一方面，如果我实际改变了部件，我害怕将响应与来自部件间变化的其他因素混淆。
我觉得最初分裂情节设计会有所帮助，但我不能在这个框架内解决上述问题。我还要补充说，改变这些部件非常耗时且昂贵，因此最小化变化是挑战的一部分。
我也读了一些有趣的建议布拉德利琼斯 2012年的日期 JMP博客关于使用时间作为协变量，但我的上述情况似乎比那篇文章中提到的更复杂。
如果JMP能够考虑到我上面描述的那种约束，那将是非常好的。
我希望我的描述足够清楚，任何建议都将不胜感激！
谢谢
马特奥
Re：如何处理与时间有关的因素利玛窦，
听起来更像是被动数据收集而不是设计实验。您无法控制载波和焊盘的使用年限（仅当您可以收集数据时，并且仅在时间方向上向前）。我将不得不考虑样本大小问题，这是一个难题，因为你有一个混合模型，并涉及到垫到垫和载波到载波的可变性的一些猜测。希望在这个领域拥有更广泛背景的人可以加入。
唐
Re：如何处理与时间有关的因素目前，我们只对这两个年龄因素感兴趣。
BR
马特奥
Re：如何处理与时间有关的因素利玛窦，
垫和载体的年龄旁边还有哪些其他年龄因素？
唐
Re：如何处理与时间有关的因素谢谢Don，我想我理解你的建议，但我需要一些进一步的建议：
1）我应该如何确保年龄因素彼此“正交”以及垫/载体以避免混淆 - 我不确定这个概念如何适用于随机因素。
2）我应该使用多少个垫/载体作为规则的拇指（我想这取决于许多事情，但是我想我想看看它们是否可以解释总方差的至少一半）。
3）在您提出的设计中，我是否仍然应该使用分割图方法进行垫/载体，如下面的JMP获得，将垫设置为硬盘和载板头是否容易？
Whole_plot CARRIER_HEAD PAD
1 L2 L1
1 L3 L1
1 L1 L1
2 L1 L2
2 L3 L2
2 L2 L2
3 L3 L3
3 L1 L3
3 L2 L3
4 L1 L2
4 L3 L2
4 L2 L2
5 L1 L3
5 L3 L3
5 L2 L3
Re：如何处理与时间有关的因素利玛窦，
我回答您在一般LinkedIn DOE讨论组中的查询 。因为你无法控制年龄，但仍然有兴趣获得年龄的影响，你将无法将其包含在实验设计中，但肯定能够在建模中使用它实验数据。让我们简单地假设，唯一改变的是载波，载波垫和垫（载波和载波）的年龄。现在，让我们来看看你需要的垫子和载体的数量。在实验过程中，对于给定的观察，您将记录您感兴趣的响应，加上垫的年龄，垫ID（允许您区分不同垫的任何值），载体的年龄（假设您认为这很重要）和运营商ID。一旦你完成，一个简单的模型（但不是唯一可能的模型）将两个年龄变量视为固定效果，Pad [Carrier] - 填充嵌套在载体中 - 载体作为随机效应。在这里，我假设给定载波可能有多个焊盘更改。
唐
