半导体工厂生产不同阶段的统计分析实践_许广勤_20170524 演讲嘉宾：许广勤 ，SMIC，工艺整合资深经理
扬声器： 徐广勤 ，中芯国际高级流程整合经理
主题： 半导体工厂不同生产阶段的统计分析实践
话题： 半导体铸造厂不同生产阶段的统计实践
摘要：
在半导体产品的生产过程中不同的阶段有不同的工程侧重点，从而会引入相应不同的统计分析工具。在试产阶段，如何发现最佳的工艺条件和探索工艺窗口非常重要，实验设计（DOE ）是一个非常有用的工具来帮助我们在有限的资源下获得期望的工艺条件，缩短工程周期。在批量生产过程中，我们更注重如何通过加强工艺控制来维护产品线的稳定以及早期失效侦测。统计工艺控制SPC经常被用来监控制程的状态，确定生产过程在管制的状态下，以降低产品品质的变异。而在大规模量产的过程中，产能扩充和产线稳定变得同样重要，全面的数据匹配是个重要的概念来保证在没有异常事件的情况做到快速的产能扩展.JMP可以在半导体产品生产的各个阶段统计分析中都可以扮演重要的角色。
抽象：
在半导体产品制造的每个阶段，都有不同的工程重点。因此，引入了不同的统计工具。在试验阶段，找出最佳工艺条件并探索工艺窗口至关重要。实验设计（DOE）是一种方便的工具，可以在有限的资源和缩短的循环时间内实现所需的工艺条件。在风险生产中，严格的过程控制可确保过程稳定性和早期故障检测。统计过程控制（SPC）工具广泛用于监控过程性能，确保过程受控并减少质量变化。在批量生产阶段，容量扩展与流程稳定性同样重要，完整的数据匹配是确保快速扩展而不会出现偏差的关键思维方式。JMP可以在半导体产品的整个生命周期中发挥关键的统计作用。
