단위 원에 극좌표 및 직교 다항식을 이용한 웨이퍼 결함 분석<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />이 고객이 아래에서 요구하는 기술에 익숙한 사람이 있습니까? 참고로 JMP 12의 클러스터링 플랫폼에 내장 된 새로운 Hough 변환에 대해 이미 말씀 드렸습니다. JMP 12는 비슷한 목적으로 사용되지만 다른 기술을 사용합니다.
"실리콘 웨이퍼의 측정은 내가 모델링하고자하는 2 차원 변동을 보여줍니다. 반경 오히려 xy . 나는 적합하길 바래. 단위 원상의 직교 다항식 , 아마도 제르 니케 계수 .
확장의 첫 15 개 조항을 맞추려면 데이터 표에 15 개의 열을 추가해야합니까? 일차원 다항식 또는 비선형 모델 라이브러리와 같은 더 쉬운 방법이 있습니까? 첨부 된 예제를 참조하십시오. "
미리 감사드립니다.
요르단
